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原文传递一种检测FPD基板的成像系统及方法

专利名称：	一种检测FPD基板的成像系统及方法
摘要：	本发明公开了一种检测FPD基板的成像系统及方法，涉及FPD基板缺陷检测技术领域。系统包括：同轴照明装置，其用于凸显FPD基板上电路线条的方位特征；图像采集装置，其用于采集被凸显电路线条方位特征的FPD基板的第一图像；暗场照明装置，其用于凸显FPD基板上电路线条的缺陷特征；图像处理装置，其用于根据第一图像确定电路线条的角度，并且根据电路线条的角度把FPD基板划分出不同的特征区域；图像采集装置还用于采集所有特征区域的第二图像，图像处理装置获取所有第二图像后进行缺陷特征识别，且对有缺陷特征的图像进行定位。本发明采用同轴照明装置和暗场照明装置来凸显FPD基板上电路线条的特征，提高了对FPD基板缺陷检测的准确度和检测效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉中导光电设备有限公司
发明人：	李波;曾耀
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910448588.X
公开号：	CN110132999A
代理机构：	武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	张凯
分类号：	G01N21/956(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	430000 湖北省武汉市经济技术开发区车城南路69号
主权项：	1.一种检测FPD基板的成像系统，其特征在于，其包括：同轴照明装置(4)，所述同轴照明装置(4)用于凸显FPD基板(7)上电路线条的方位特征；图像采集装置(1)，其用于采集被凸显电路线条方位特征的FPD基板(7)的第一图像；暗场照明装置(3)，所述暗场照明装置(3)用于凸显FPD基板(7)上电路线条的缺陷特征；图像处理装置(5)，其用于根据第一图像确定电路线条的角度，并且根据电路线条的角度把FPD基板(7)划分出不同的特征区域；同时，所述图像采集装置(1)还用于逐个采集被凸显FPD电路线条缺陷特征的所有所述特征区域的第二图像；所述图像处理装置(5)还用于获取所有第二图像后进行缺陷特征识别，且对有缺陷特征的图像进行定位。 2.如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述图像采集装置(1)为相机，所述同轴照明装置(4)连接在相机的镜头上，所述同轴照明装置(4)的光线与相机镜头的主光轴平行。 3.如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述同轴照明装置(4)的光线射出端设有物镜(2)，所述物镜(2)用于放大FPD基板(7)上电路线条，提高图像采集装置(1)的图像清晰度。 4.如权利要求3所述的系统，其特征在于：所述暗场照明装置(3)套设在物镜(2)的外圆上，暗场照明装置(3)为物镜(2)提供设定角度的暗场光线。 5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：控制所述同轴照明装置(4)和暗场照明装置(3)的光源控制装置(6)，所述光源控制装置(6)分别与同轴照明装置(4)和暗场照明装置(3)电连接，所述光源控制装置(6)用于控制同轴照明装置(4)和暗场照明装置(3)的工作状态。 6.如权利要求2所述的系统，其特征在于：所述相机为线阵CCD相机或矩阵CCD相机。 7.一种检测FPD基板的成像方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：把待检测的FPD基板(7)放置在图像采集装置(1)的图像采集区域的范围内；打开同轴照明装置(4)的光源，凸显FPD基板(7)电路线条的方位特征；图像采集装置(1)采集被凸显电路线条方位特征的FPD基板(7)的第一图像；图像处理装置(5)根据第一图像确定电路线条的角度，并且根据电路线条的角度把FPD基板(7)划分出不同的特征区域；关闭同轴照明装置(4)的光源，打开暗场照明装置(3)的光源，凸显FPD基板(7)上电路线条的缺陷特征；图像采集装置(1)逐个采集被凸显FPD电路线条缺陷特征的所有特征区域的第二图像；图像处理装置(5)获取所有第二图像后进行缺陷特征识别，且对有缺陷特征的图像进行定位。 8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述打开暗场照明装置(3)的光源具体方式为：计算暗场照明装置(3)的光源角度与电路线条的角度之间的差值的绝对值A，打开满足45≤A≤90角度的暗场光源。 9.如权利要求7所述的一种检测FPD基板的成像方法，其特征在于：所述缺陷特征为线条断裂、缺口、线条边缘凸起、线条孔洞、非线条区堆积中的一种或多种。
所属类别：	发明专利