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夹紧装置、基板传送装置、和在线式FPD自动光学检测装置
| 专利名称： | 夹紧装置、基板传送装置、和在线式FPD自动光学检测装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基板夹紧装置和基板传送装置，用于通过机械地 固定基板的其中一侧并通过真空吸附而传送基板。该基板夹紧装置包 括：上卡盘；下卡盘，其构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入并夹住基 板；和吸气嘴，其构造成在该上卡盘和下卡盘的彼此相对的相对面的至 少一个上吸附并固定基板，从而防止由该基板夹紧装置固定的基板在基 板传送过程中发生分离或在接触面上产生划痕。在基板夹紧装置夹紧的 基板高速移动时，本发明防止该基板与该基板夹紧装置发生分离，从而 确保基板传送的可靠性并提高产品的生产率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 发明人： | 金玟锡;金相银;李英成;李恩璟;闵相植 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-08-04T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610103870.7 |
| 公开号： | CN1909203 |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王艳江;魏金霞 |
| 分类号： | H01L21/683(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国京畿道城南市中院区上大院洞333-5番地 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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