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原文传递传送式基板处理装置

专利名称：	传送式基板处理装置
摘要：	即使在基板(10)通过药液避开部(30)的出口的阶段起，下游侧的药液处理部开始进行药液喷出操作的情况下，也可以防止上游侧接受部中的药液污染。为了实现它，使药液避开部(30)的总长度(L1)比基板(10)的长度(L2)大，并在药液避开部(30)的基板入口和出口处设置快门(34a、34b)。将药液避开部(30)内部通过至少一个隔壁(32a、32b)沿基板传送方向区分成多个室(33a、33b、33c)，除了药液避开部(30)内最上游侧的室(33a)以外，将至少一个室(33b)抽至负压。将药液避开部(30)中的最
专利类型：	发明专利
申请人：	住友精密工业株式会社
发明人：	田内仁;小泉晴彦
专利状态：	有效
申请日期：	2002-02-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN02808277.X
公开号：	CN1503758
代理机构：	北京三幸商标专利事务所
代理人：	刘激扬
分类号：	B65G49/00
申请人地址：	日本国兵库县
所属类别：	发明专利