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磁力驱动构件、基板传送单元及基板处理装置
| 专利名称： | 磁力驱动构件、基板传送单元及基板处理装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种采用直接驱动方式、能够简化驱动机构的结构并能 更稳定地传送基板的磁力驱动构件，以及利用该磁力驱动构件的基板传 送单元和具有该基板传送单元的基板处理装置。所述传送基板的基板传 送单元包括：轴，相互并排配置，用于传送基板；第一磁力构件，设置 在所述轴的一端上；第二磁力构件，与所述第一磁力构件相对设置，并 进行磁耦合，而且沿其圆周面形成多个突出部；动力传递构件，通过与 在所述第二磁力构件中相邻的任意两个所述第二磁力构件上形成的所述 突出部的啮合，在所述第二磁力构件之间传递转动力；以及驱动构件， 向任意一个所述第二磁力构件提供转动力。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 细美事有限公司 |
| 发明人： | 林宪燮;金炯拜;姜一圭;柳承洙 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-10-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810172081.8 |
| 公开号： | CN101436561 |
| 代理机构： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国忠清南道 |
| 主权项： | 1. 一种传送基板的基板传送单元，其特征在于包括： 轴，相互并排配置，用于传送基板； 第一磁力构件，设置在所述轴的一端上； 第二磁力构件，与所述第一磁力构件相对设置，并进行磁耦合，而 且沿其圆周面具有多个突出部； 动力传递构件，通过与在所述第二磁力构件中相邻的任意两个所述 第二磁力构件上形成的所述突出部的啮合，在所述第二磁力构件之间传 递转动力；以及 驱动构件，向任意一个所述第二磁力构件提供转动力。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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