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原文传递一种清洗探针的方法、激光调阻机

专利名称：	一种清洗探针的方法、激光调阻机
摘要：	本申请实施例提供一种清洗探针的方法、激光调阻机，涉及激光领域。该方法应用于激光调阻机，该方法包括：判断安装在所述激光调阻机上的探针上附着的粉尘是否满足预设的清洗条件；在所述附着的粉尘满足预设的清洗条件时，控制所述探针移动到预设的清洗位置；基于所述清洗位置控制输出的激光束扫描所述探针上附着的粉尘，以使所述激光束清除所述附着的粉尘。该方法在提高了探针清洗的便利性的同时，还提高了探针的清洗效果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市杰普特光电股份有限公司
发明人：	柯梽全;彭荣森
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910520628.7
公开号：	CN110146421A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	宋朋飞
分类号：	G01N15/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区观盛五路5号泰豪科技园泰豪科技301
主权项：	1.一种清洗探针的方法，其特征在于，应用于激光调阻机，所述方法包括：判断安装在所述激光调阻机上的探针上附着的粉尘是否满足预设的清洗条件；在所述附着的粉尘满足预设的清洗条件时，控制所述探针移动到预设的清洗位置；基于所述清洗位置控制输出的激光束扫描所述探针上附着的粉尘，以使所述激光束清除所述附着的粉尘。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述清洗位置控制输出的激光束扫描所述探针，包括：采集所述探针的图像并显示；获取用户根据所述探针的图像和所述清洗位置输入的扫描信息，所述扫描信息用于指示所述附着的粉尘在所述探针上的位置；控制所述激光束扫描所述扫描信息指示的位置。 3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述扫描信息包括所述附着的粉尘相对于所述探针的坐标。 4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，判断安装在所述激光调阻机上的探针上附着的粉尘满足预设的清洗条件，包括：获取当前采集的探针图像；对所述探针图像进行分析，根据所述附着的粉尘在所述探针图像中所占的面积确定所述附着的粉尘的尺寸；在所述附着的粉尘的尺寸大于或者等于预设值时，确定所述附着的粉尘满足预设的清洗条件。 5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在控制输出的激光束扫描所述清洗位置后，所述方法还包括：采集清洗后的所述探针的图像；对所述探针的图像进行分析，判断清洗后的所述探针上是否附着有粉尘；若清洗后的所述探针上附着有粉尘，判断清洗后的所述探针上附着的粉尘的尺寸是否大于或者等于所述预设值；若清洗后的所述探针上附着的粉尘的尺寸大于或者等于所述预设值，控制所述激光束再次扫描所述清洗位置。 6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，判断安装在激光调阻机上的探针上附着的粉尘满足预设的清洗条件，包括：获取当前采集的探针图像；将所述探针图像发送给用户监测端；在接收到所述用户监测端发送的清洗指令时，确定所述附着的粉尘满足预设的清洗条件。 7.根据权利要求4或6所述的方法，其特征在于，获取当前采集的探针图像，包括：确定当前是否在进行修阻；在确定当前在进行修阻时，在接收到完成修阻的指令时，获取当前采集的探针图像。 8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述探针移动到预设的清洗位置，包括：将所述探针移动到距离所述激光束的焦点位置5mm以内的位置。 9.一种激光调阻机，其特征在于，包括：影像装置，用于判断安装在所述激光调阻机上的探针上附着的粉尘是否满足预设的清洗条件；支撑装置，用于在所述影像装置确定所述附着的粉尘满足预设的清洗条件时，控制所述探针移动到预设的清洗位置；激光装置，用于基于所述清洗位置控制输出的激光束扫描所述探针，以使所述激光束清除所述附着的粉尘。 10.根据权利要求9所述的激光调阻机，其特征在于，所述影像装置还用于采集并显示所述探针的图像；所述激光装置还用于获取用户根据所述探针的图像和所述清洗位置输入的扫描信息，所述扫描信息用于指示所述附着的粉尘在所述探针上的位置；所述激光装置还用于控制所述激光束扫描所述扫描信息指示的位置。
所属类别：	发明专利