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原文传递传输机械臂

专利名称：	传输机械臂
摘要：	本发明涉及机械手技术领域，尤其是涉及一种传输机械臂。包括：夹取机构、升降机构和平移机构；夹取机构连接在升降机构的升降端，升降机构与平移机构连接，以使夹取机构能够沿水平方向和竖直方向移动；夹取机构包括底座、第一支臂、第二支臂、第一夹持部和第二夹持部；底座与升降机构的升降端连接，第一支臂和第二支臂的一端均设在底座上，且第一支臂和第二支臂能够相对或相向运动，以使连接在第一支臂远离底座的一端的第一夹持部与连接在第二支臂底座一端的第二夹持部将晶圆夹持或将晶圆卸下；第一夹持部和第二夹持部与晶圆的接触部上均设有多个导槽。以缓解现有技术中存在的现有机械臂若直接对晶圆进行夹持时，容易将晶圆划伤的技术问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
发明人：	祝福生;王文丽;夏楠君;王刚;郭立刚
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910486408.7
公开号：	CN110155721A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	王献茹
分类号：	B65G49/07(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号
主权项：	1.一种传输机械臂，用于设在无片盒湿化学清洗设备，其特征在于，包括：夹取机构、升降机构和平移机构；所述夹取机构连接在所述升降机构的升降端，所述升降机构与所述平移机构连接，以使所述夹取机构能够沿水平方向和竖直方向移动；所述夹取机构包括底座、第一支臂、第二支臂、第一夹持部和第二夹持部；所述底座与所述升降机构的升降端连接，所述第一支臂和所述第二支臂的一端均设在所述底座上，且所述第一支臂和所述第二支臂能够相对或相向运动，以使连接在所述第一支臂远离所述底座的一端的第一夹持部与连接在所述第二支臂所述底座一端的第二夹持部将晶圆夹持或将晶圆卸下；所述第一夹持部和第二夹持部与所述晶圆的接触部上均设有多个导槽。 2.根据权利要求1所述的传输机械臂，其特征在于，所述第一夹持部包括两个第一开夹支臂和两个第一连杆；两个所述第一开夹支臂沿所述第一支臂的延伸方向间隔分布，所述第一开夹支臂与所述第一支臂垂直，所述第一连杆设两个所述第一开夹支臂远离所述支臂的一端，且两个所述第一连杆平行间隔设置；沿所述第一连杆的延伸方向上均匀间隔分布有多个所述导槽。 3.根据权利要求2所述的传输机械臂，其特征在于，所述导槽包括定位槽和连接槽，所述连接槽与所述定位槽连通，由所述连接槽的远离所述定位槽的一端向靠近所述定位槽的一端，所述连接槽的槽宽逐渐减小。 4.根据权利要求3所述的传输机械臂，其特征在于，所述夹取机构还包括第一安装座、第二安装座、滚珠丝杠、两个丝杠安装座和第一驱动电机；所述第一安装座和所述第二安装座平行设置，所述第一支臂与所述第一安装座连接，所述第二支臂与所述第二安装座连接，所述滚珠丝杠上的两个第一丝母分别穿过第一安装座和所述第二安装座向所述底座的两端延伸，并与对称设在所述底座两侧的两个所述丝杠安装座连接，所述第一驱动电机通过同步带与所述滚珠丝杠中部设置的同步带轮连接，以驱动所述滚珠丝杠转动。 5.根据权利要求4所述的传输机械臂，其特征在于，所述夹取机构还包括至少四个导轨；所述第一安装座的两端分别设有至少一个所述导轨，所述第二安装座的两端分别设置有至少一个所述导轨，且所述导轨的延伸方向与所述滚珠丝杠的延伸方向相同。 6.根据权利要求2所述的传输机械臂，其特征在于，所述夹取机构还包括第一安装块、第二安装块和光电检测探头；所述第一安装块安装在所述第一支臂远离所述底座的一端，所述第二安装块的一端与所述第一安装块连接，所述第二安装块的另一端的两侧与两个所述第一开夹支臂连接，所述光电检测探头设在所述第一开夹支臂靠近所述第一连杆的一端。 7.根据权利要求1-6任一项所述的传输机械臂，其特征在于，所述第一夹持部和所述第二夹持部结构相同。 8.根据权利要求7所述的传输机械臂，其特征在于，所述平移机构包括：安装板和第一驱动组件；所述安装板用于安装于清洗设备的机架上，所述第一驱动组件用于驱动所述升降机构相对所述安装板沿水平方向移动；所述第一驱动组件包括两个平行设置的横向轨道、两个定位板、斜齿条、斜齿圆柱齿、电机安装座、横移电机和防撞检测开关；两个所述定位板对称设在所述安装板的上下两侧，每个所述定位板上均设有一个所述横向轨道，两个所述横向轨道平行设置，所述斜齿条设置位于上方的所述定位板上，所述斜齿条的延伸方向与所述横向轨道的延伸方向相同，所述电机安装座设在所述升降机构的主框架上，且在所述主框架上设有与横向轨道配合的凹槽，所述横移电机和防撞检测开关安装在所述电机安装座上，所述斜齿圆柱齿将所述电机的输出端和所述斜齿条配合，以使所述横移电机带动所述升降机构沿水平方向移动。 9.根据权利要求8所述的传输机械臂，其特征在于，所述升降机构包括升降电机安装座、升降导轨、升降滑块、升降杆、伺服电机、丝杠及第二丝母，所述升降导轨安装于所述主框架中且沿所述竖直方向设置，所述升降滑块与所述升降导轨可滑动地连接，所述升降杆的一端与所述升降滑块连接，所述升降杆的另一端与所述底座连接；所述伺服电机安装于所述升降电机安装座，所述丝杠与所述升降电机安装座可转动地连接且沿所述竖直方向设置，所述伺服电机的输出端与所述丝杠传动地连接，所述第二丝母套设于所述丝杠并与所述丝杠配合，所述升降滑块与所述丝母连接，所述伺服电机通电能够带动所述丝杠转动，以使所述升降杆带动所述底座沿竖直方向移动。 10.根据权利要求1所述的传输机械臂，其特征在于，还包括风琴罩，所述风琴罩的一端穿过所述升降机构与所述夹取机构的连接部且其两端用于安装在清洗设备的机架上。
所属类别：	发明专利