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原文传递一种晶棒开方上料夹持装置

专利名称：	一种晶棒开方上料夹持装置
摘要：	本发明涉及一种晶棒开方上料夹持装置，属于晶硅加工技术领域，包括底座，所述底座上设有工作台和对中组件，所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件，支撑座用于支撑晶棒，上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部，对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面，实现对中操作，驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动，实现上料，本发明借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持，省去了上下晶棒时的大量辅助时间，采用上下压紧的方式夹持住晶棒，夹持稳定，同时，借助对中组件提高对中精度，使晶棒长度方向平行于导轨方向，确保开方垂直度，借助驱动组件提高工作台横向移动精度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	青岛高测科技股份有限公司
发明人：	解培玉;段景波;徐公志;王宝超;于秀升
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910594157.4
公开号：	CN110154254A
代理机构：	北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	张明利
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	266000 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
主权项：	1.一种晶棒开方上料夹持装置，包括底座，所述底座上设有工作台(19)，其特征在于，所述工作台(19)上设有：支撑座(1)，其用于支撑晶棒(4)；上料压紧组件(2)，其位于支撑座(1)上方，用于压紧位于支撑座(1)上的晶棒(4)的顶部；驱动组件(5)，所述底座上设有导轨(6)，驱动组件(5)带动支撑座(1)、上料压紧组件(2)沿着导轨(6)滑动，实现上料；所述底座上还设有对中组件(3)，其跨设于工作台(19)上方且与底座固连，用于夹持位于支撑座(1)上的晶棒(4)的侧面，实现对中操作。 2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述上料压紧组件(2)包括支撑架(7)、上料气缸(8)和上料压板(9)，所述上料气缸(8)沿着竖直方向设置，其缸体端通过支撑架(7)与工作台(19)连接，其活塞端与上料压板(9)连接，所述上料压板(9)沿着晶棒(4)的长度方向设置。 3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述上料压板(9)的下方设有上料压块(11)，且上料压块(11)设为V型结构，且V型结构的开口正对晶棒(4)。 4.根据权利要求3所述的夹持装置，其特征在于，所述支撑座(1)上方设有与上料压块(11)结构相同的支撑压块(15)。 5.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述支撑架(7)上沿着竖直方向设置有靠板(10)，用于与晶棒(4)的端面相抵。 6.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述对中组件(3)包括对中支架(12)、卡爪气缸(13)和对中靠板(14)，所述对中支架(12)沿着竖直方向设置，其底部与底座固连，所述卡爪气缸(13)沿着垂直于晶棒(4)长度方向设置，其缸体端与对中支架(12)固连，其活塞端与对中靠板(14)连接，所述对中靠板(14)沿着竖直方向设置。 7.根据权利要求6所述的夹持装置，其特征在于，所述卡爪气缸(13)和对中靠板(14)均设有对称的设有2个，且对中靠板(14)与晶棒(4)的切割面相贴。 8.根据权利要求1-7任一所述的夹持装置，其特征在于，所述对中组件(3)沿着晶棒(4)的长度方向至少设置1个。 9.根据权利要求8所述的夹持装置，其特征在于，所述驱动组件(5)包括驱动电机(16)、纵向间隙齿轮、横向间隙齿轮(17)和齿条(18)，所述齿条(18)固设于底座上，所述纵向间隙齿轮、横向间隙齿轮(17)分别与齿条(18)相啮合，所述驱动电机(16)通过减速机与纵向间隙齿轮传动连接。 10.根据权利要求9所述的夹持装置，其特征在于，所述纵向间隙齿轮通过固定板一(20)与工作台(19)连接，且固定板一(20)上设有纵向条形槽(22)，横向间隙齿轮(17)通过固定板二(21)与工作台(19)连接，且固定板二(21)上设有横向条形槽(23)，固定板一(20)、固定板二(21)与工作台(19)的相对位置可调。
所属类别：	发明专利