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原文传递一种扫描透射电子束诱导电流分析系统及方法

专利名称：	一种扫描透射电子束诱导电流分析系统及方法
摘要：	本发明公开了一种扫描透射电子束诱导电流分析系统及方法，属于电子束诱导电流分析领域。本发明系统包括原位芯片、样品杆、透射电镜、采集单元和数据处理单元，原位芯片与样品杆连接；样品杆设于透射电镜内，透射电镜和样品杆分别通过采集单元与数据处理单元电连接；本发明的方法为先将承载样品的原位芯片与样品杆连接，再将样品杆置入透射电镜并进行单点的信号测量，再利用采集单元采集单点信号，而后利用数据处理单元处理采集的信号，循环操作至完成所有单点的信号测量。本发明目的在于克服现有电子束诱导电流分析技术中，待测样品在测量过程中稳定性低、误差较大的不足，本发明可以提高待测样品在测量过程中的稳定性，可消除测量过程中的误差。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	南京大学
发明人：	王鹏;魏一凡;蔡嵩骅;谷敏
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910469459.9
公开号：	CN110161063A
代理机构：	江苏瑞途律师事务所
代理人：	金龙
分类号：	G01N23/20008(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	210023 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
主权项：	1.一种扫描透射电子束诱导电流分析系统，其特征在于：包括原位芯片(100)、样品杆(200)、透射电镜(300)、采集单元(400)和数据处理单元(500)，所述原位芯片(100)与样品杆(200)相连接；所述样品杆(200)设置于透射电镜(300)内，且透射电镜(300)和样品杆(200)分别通过采集单元(400)与数据处理单元(500)电连接，其中，原位芯片(100)用于承载待测样品。 2.根据权利要求1所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析系统，其特征在于：所述采集单元(400)包括放大器(410)、采集件(420)和源表(430)，所述样品杆(200)通过放大器(410)与源表(430)电连接，所述采集件(420)与透射电镜(300)电连接。 3.根据权利要求2所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析系统，其特征在于：所述样品杆(200)和放大器(410)之间设置有转换盒。 4.根据权利要求2所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析系统，其特征在于：放大器(410)的峰峰值噪声α≤0.01pA，放大器(410)的电流增益β≥40dB。 5.根据权利要求1～4任一项所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析系统，其特征在于：所述原位芯片(100)通过引脚与样品杆(200)的电极相连接。 6.一种扫描透射电子束诱导电流分析方法，其特征在于：采用权利要求1～5任一项所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析系统，首先将待测样品与原位芯片(100)连接，再将原位芯片(100)与样品杆(200)连接，而后将样品杆(200)置入透射电镜(300)，再选取待测样品的待测区域，并利用透射电镜(300)依次扫描测量待测区域内单点的信号，再利用采集单元(400)采集单点的信号，而后利用数据处理单元(500)处理采集的信号，循环操作直至完成待测区域内所有单点信号的测量、采集和处理。 7.根据权利要求6所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析方法，其特征在于：透射电镜(300)测量待测样品的信号的具体步骤为：利用透射电镜(300)的扫描线圈对待测样品的单点同时进行电子束诱导电流信号、环形明场像信号、高角环形暗场像信号以及电子束能量损失谱信号的测量。 8.根据权利要求7所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析方法，其特征在于：采集单元(400)采集待测样品的信号的具体步骤为：利用采集单元(400)的放大器(410)对电子束诱导电流信号进行放大，并利用采集单元(400)的源表(420)采集放大后的电子束诱导电流信号；同时利用采集单元(400)的采集件(430)对环形明场像信号、高角环形暗场像信号以及电子束能量损失谱信号进行处理。 9.根据权利要求6～8任一项所述的一种扫描透射电子束诱导电流分析方法，其特征在于：利用数据处理单元(500)对采集的信号进行同步处理。
所属类别：	发明专利