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原文传递一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台

专利名称：	一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台
摘要：	本发明提供了一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台，该缺陷检测系统包括光源部件；检测部件，包括光斑选择板，光斑选择板上设有通孔，通孔的宽度沿第一方向逐渐递增或逐渐递减，光斑选择板能够沿第一方向移动，光线与第一方向垂直且光线的至少一部分能够穿过通孔；驱动部件，用于驱动检测部件沿第二方向移动，第二方向与第一方向垂直；接收部件，用于接收穿过通孔的光线并将接收的光线转化为光斑数字图像；以及处理器，用于接收光斑数字图像，并根据光斑数字图像确定与光斑数字图像对应的高度尺寸。本发明提供的缺陷检测系统结构简单、操作方便，利用不同的光斑数字图像对应不同的高度尺寸，快速实现对样品表面缺陷的高度或深度的检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海华力微电子有限公司
发明人：	胡向华;欧阳余庆;何广智;顾晓芳;倪棋梁
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910386157.5
公开号：	CN110095491A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	屈蘅
分类号：	G01N23/2251(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	201315 上海市浦东新区良腾路6号
主权项：	1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：光源部件，用于发射光线；检测部件，包括沿第一方向设置的光斑选择板，所述光斑选择板上设有通孔，所述通孔的宽度沿所述第一方向逐渐递增或逐渐递减，所述光斑选择板能够沿所述第一方向移动，所述光线与所述第一方向垂直且所述光线的至少一部分能够穿过所述通孔；驱动部件，与所述检测部件相连，用于驱动所述检测部件沿第二方向移动，所述第二方向与所述第一方向垂直；接收部件，用于接收穿过所述通孔的光线并将接收的所述光线转化为光斑数字图像；以及处理器，用于接收所述光斑数字图像，并根据所述光斑数字图像确定与所述光斑数字图像对应的高度尺寸，进而确定样品表面缺陷的高度或深度。 2.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述光源部件为激光发射器，所述接收部件为激光接收器。 3.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述处理器根据所述光斑数字图像从预设数据库中确定与所述光斑数字图像对应的高度尺寸，其中，所述预设数据库预先存储有不同光斑数字图像与高度尺寸的对应关系。 4.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述检测部件还包括第一弹簧，所述第一弹簧的一端与所述光斑选择板相连，另一端与所述驱动部件相连，所述第一弹簧能够带动所述光斑选择板沿所述第一方向移动。 5.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述检测部件还包括与所述光斑选择板相连的探针，所述探针沿所述第一方向设置。 6.如权利要求5所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述检测部件还包括第二弹簧，所述第二弹簧的一端与所述光斑选择板相连，另一端与所述探针相连。 7.如权利要求1所述的缺陷检测系统，其特征在于，所述通孔沿所述第一方向的截面形状为梯形或三角形。 8.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述检测方法包括如下步骤：驱动部件驱动检测部件移动至待测样品的非缺陷区；光源部件发射的光线中的至少一部分穿过所述检测部件上的通孔；接收部件接收穿过所述通孔的光线并将所述光线转化为第一光斑数字图像；驱动部件驱动所述检测部件移动至待测样品的缺陷区；光源部件发射的光线中的至少一部分穿过所述检测部件上的通孔；接收部件接收穿过所述通孔的光线并将所述光线转化为第二光斑数字图像；处理器分别接收所述第一光斑数字图像和所述第二光斑数字图像并根据所述第一光斑数字图像确定第一高度尺寸，根据所述第二光斑数字图像确定第二高度尺寸，以及对所述第一高度尺寸和所述第二高度尺寸进行差值运算，以确定所述缺陷区的高度或深度。 9.如权利要求8所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述处理器根据所述第一光斑数字图像从预设数据库中确定与所述第一光斑数字图像对应的第一高度尺寸，以及根据所述第二光斑数字图像从预设数据库中确定与所述第二光斑数字图像对应的第二高度尺寸，其中所述预设数据库预先存储有不同光斑数字图像与高度尺寸的对应关系。 10.一种电子束扫描机台，其特征在于，包括权利要求1至7中任一项所述的缺陷检测系统。
所属类别：	发明专利