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原文传递 用于缺陷检查的光学对比度增强
专利名称: 用于缺陷检查的光学对比度增强
摘要: 本申请公开了用于缺陷检查的光学对比度增强。一种用于检查物体的检查系统和方法。该方法可以包括获取物体的区域的散焦图像;以及处理该区域的散焦图像,以找到在与该区域的某些邻近点相关联的光路之间的相移。相移可以指示缺陷。散焦图像的获取可以包括用辐射束照明该区域,该辐射束在照射在该区域上时可以是空间相干的和准直的。照明可以包括使辐射束穿过由孔径光阑限定的孔径,孔径光阑可以位于孔径光阑平面内。孔径的尺寸可以是孔径光阑的尺寸的一小部分。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 以色列;IL
申请人: 康代有限公司
发明人: Z·本埃泽尔
专利状态: 有效
申请日期: 2019-02-13T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-23T00:00:00+0800
申请号: CN201910113011.3
公开号: CN110161033A
代理机构: 北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人: 张瑞;杨明钊
分类号: G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 以色列米得哈曼
主权项: 1.一种用于检查物体的方法,所述方法包括: 获取物体的区域的散焦图像;以及 处理所述区域的散焦图像,以找到在与所述区域的某些邻近点相关联的光路之间的相移;其中所述相移指示缺陷; 其中,所述散焦图像的获取包括用辐射束照明所述区域,所述辐射束在照射在所述区域上时是空间相干的和准直的; 其中,所述照明包括使所述辐射束穿过由孔径光阑限定的孔径,所述孔径光阑位于孔径光阑平面内;以及 其中,所述孔径的尺寸是所述孔径光阑的尺寸的一小部分。 2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述区域的所述散焦图像的获取包括由传感器感测由所述区域反射的感测到的辐射;其中所述感测到的辐射包括在从所述区域的不同点反射的辐射之间形成的干涉图样;其中所述区域的所述不同点包括所述某些邻近点和附加点。 3.根据权利要求2所述的方法,包括感测在与所述某些邻近点相关联的干涉图样和与所述附加点相关联的干涉图样之间的差异。 4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述一小部分不超过1%到2.5%。 5.根据权利要求1所述的方法,其中,所述孔径位于所述孔径光阑的中心处。 6.根据权利要求1所述的方法,其中,所述孔径位于所述孔径光阑的中心之外。 7.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述散焦图像的获取之前使所述孔径光阑进入照明路径内,且在所述散焦图像的获取之后从所述照明路径移除所述孔径光阑。 8.根据权利要求1所述的方法,包括在不同散焦条件下获取所述区域的多个散焦图像。 9.根据权利要求8所述的方法,包括选择所述不同散焦条件中的所选散焦条件,并使用所述所选散焦条件来获取其他物体的区域的散焦图像。 10.根据权利要求8所述的方法,其中,所述选择基于与所述相移相关联的对比度。 11.根据权利要求1所述的方法,其中,所述照明还包括使所述辐射束穿过由所述孔径光阑限定的附加孔径。 12.一种检查系统,包括: 成像器,其被构造和布置成获取物体的区域的散焦图像;以及 处理器,其被构造和布置成处理所述区域的所述散焦图像,以找到在与所述区域的某些邻近点相关联的光路之间的相移;其中所述相移指示缺陷; 其中,所述成像器包括被构造和布置成用辐射束照明所述区域的照明光学器件,所述辐射束在照射在所述区域上时是空间相干的和准直的; 其中,所述照明光学器件包括孔径光阑,所述孔径光阑包括孔径,其中所述照明光学器件被构造和布置成使所述辐射束在到达所述区域之前穿过所述孔径;以及 其中,所述孔径的尺寸是所述孔径光阑的尺寸的一小部分。 13.根据权利要求12所述的检查系统,其中,所述成像器包括被构造和布置成感测由所述区域反射的感测到的辐射的传感器;其中所述感测到的辐射包括在从所述区域的不同点反射的辐射之间形成的干涉图样;其中所述区域的所述不同点包括所述某些邻近点和附加点。 14.根据权利要求13所述的检查系统,其中,所述传感器被构造和布置成感测在与所述某些邻近点相关联的干涉图样和与所述附加点相关联的干涉图样之间的差异。 15.根据权利要求11所述的检查系统,其中,所述一小部分不超过%1到2.5%。 16.根据权利要求11所述的检查系统,其中,所述孔径位于所述孔径光阑的中心处。 17.根据权利要求11所述的检查系统,其中,所述孔径位于所述孔径光阑的中心之外。 18.根据权利要求11所述的检查系统,其中,孔径光阑是所述照明光学器件的可移除部分。 19.根据权利要求11所述的检查系统,其中,所述成像器被构造和布置成在不同散焦条件下获取所述区域的多个散焦图像。 20.根据权利要求19所述的检查系统,其中,所述处理器被构造和布置成选择所述不同散焦条件中的所选散焦条件,并使用所述所选散焦条件来获取其他物体的区域的散焦图像。 21.根据权利要求19所述的检查系统,其中,所述处理器被构造和布置成基于与所述相移相关联的对比度进行选择。 22.根据权利要求11所述的检查系统,其中,所述孔径光阑包括附加孔径。
所属类别: 发明专利
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