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原文传递用于判断缺陷质量的方法和设备

专利名称：	用于判断缺陷质量的方法和设备
摘要：	用于判断缺陷质量的方法包括：通过光学图像装置(22)在包括多层透明薄膜(1,2,3,4,5,6)的检查对象(10)的高度方向上、以预定步长获取多个图像；根据所述多个图像的每个像素与相邻像素的亮度差，来计算部分图像的锐度；根据所述多个图像的所有图像中相同像素位置处的锐度的计算结果最大的图像编号，计算所述部分图像的高度信息；从计算所述高度信息中获得所述所有图像的三维信息；和基于所述三维信息，判断所述检查对象的缺陷质量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	以色列;IL
申请人：	奥博泰克有限公司
发明人：	B.费尔德曼;菅谷胜哉;田畑让;山本茂
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201780083330.3
公开号：	CN110178019A
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	李芳华
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	以色列亚夫内
主权项：	1.一种用于判断缺陷质量的方法，包括步骤：通过光学图像装置在包括多层透明薄膜的检查对象的高度方向上、以预定步长获取多个图像；根据所述多个图像的每个像素与相邻像素的亮度差，来计算部分图像的锐度；根据所述多个图像的所有图像中相同像素位置处的所述锐度的计算结果最大的图像编号，计算所述部分图像的高度信息；从计算所述高度信息中获得所述所有图像的三维信息；和基于所述三维信息，判断所述检查对象的缺陷质量。 2.根据权利要求1所述的用于判断缺陷质量的方法，还包括步骤：检测所述锐度最高的所述图像的图案缺陷；提取具有部分图像的最大密度的图像，所述部分图像具有所述多个图像中的所述高锐度；将所述图像设置为三维图案结构的高度方向上的基准位置1；和根据所述图案缺陷的所述高度信息与所述基准位置1之间的关系，测量所述出现的图案缺陷在所述三维图案结构中的高度。 3.根据权利要求1所述的用于判断缺陷质量的方法，还包括步骤：检测所述锐度最高的所述图像的图案缺陷；提取干涉条纹的干涉图像在所述多个图像中具有最高锐度的图像，所述干涉图像在所述透明薄膜的边缘部分生成；将所述图像设置为三维图案结构的高度方向上的基准位置2；和根据所述图案缺陷的所述高度信息与所述基准位置2之间的关系，测量所述出现的图案缺陷在所述三维图案结构中的高度。 4.根据权利要求2或3所述的用于判断缺陷质量的方法，还包括步骤：通过使用所述图案缺陷的所述高度信息，来修复所述图案缺陷。 5.一种用于判断缺陷质量的设备，包括：成像装置，通过以预定步长向上和向下移动的光学成像装置，获取具有多层透明薄膜的检查对象的、具有图像编号的多个图像数据；提取部件，用于提取所述图像数据的特征；评估值计算部件，用于基于所述特征计算评估值；评估值比较部件，用于将所述评估值和与所述评估值的位置关系一致的先前评估值进行比较，并生成比较结果；评估值存储部件，用于基于所述比较结果存储所述评估值；图像编号存储部件，用于基于所述比较结果存储所述图像编号；三维信息提取部件，用于基于在所述图像编号存储部件中存储的所述图像编号，提取所述检查对象的三维信息；三维信息提取部件，用于基于所述三维信息提取存在于所述检查对象中的缺陷的高度信息；和质量判断部件，用于在存在所述多个缺陷的情况下，基于所述缺陷中的所述高度信息的差异，来判断所述检查对象的质量。 6.根据权利要求5所述的用于判断缺陷质量的设备，其中所述三维信息提取部件基于所述评估值最高的所述图像编号提取所述三维信息。 7.根据权利要求5或6所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，基于感兴趣像素和与所述感兴趣像素相邻的相邻像素之间的亮度差，来计算所述评估值。 8.根据权利要求5至7中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，所述三维信息提取部件基于所述检查对象的电极图案、和对所述检查对象的密封层的干涉条纹进行成像的所述图像数据的所述评估值，来确定所述高度信息的基准。 9.根据权利要求5至8中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中所述缺陷是图案缺陷、针孔或杂质。 10.根据权利要求7至9中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，所述评估值是基于所述感兴趣像素的亮度值与所述相邻像素的亮度值之差所计算的锐度。 11.根据权利要求5至10中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中所述检查对象是有机电致发光(EL)显示器件。 12.根据权利要求5至10中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，所述检查对象是形成在柔性基板上的柔性有机电致发光(EL)显示器件。 13.根据权利要求5至12中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，还包括：用于基于所述三维信息提取部件计算的所述高度信息来修复所述缺陷至少一个功能。 14.根据权利要求13所述的用于判断缺陷质量的设备，还包括取决于所述高度信息选择所述至少一个功能的功能。 15.一种检查设备，包括：相机，配置为捕获样本的图像，所述样本包括覆盖在样本的表面上的多个薄膜层；马达，其耦合以在垂直于样本表面的方向上扫描相机的前焦平面，由此相机在样本内不同的相应焦点深度处捕获薄膜层的图像序列；和处理器，配置为处理该序列中的图像，以便标识图像中的感兴趣特征，计算图像序列内的特征的最佳焦点的深度，并基于最佳焦点的深度来估计薄膜层内的特征的地点。 16.根据权利要求15所述的设备，还包括照明源，配置为在所述相机捕获所述图像的同时，用单色光照射所述样本。 17.根据权利要求16所述的设备，其中所述照明源被配置为以暗场模式照射所述样本。 18.根据权利要求15所述的设备，其中，所述处理器被配置为计算图像中的特征的边缘的锐度，并找到使所述锐度最大化的深度。 19.根据权利要求15所述的设备，还包括测距仪，配置为测量所述相机与所述样本之间的距离，其中所述处理器被配置为在估计所述特征的地点时应用所测量的距离。 20.根据权利要求19所述的设备，其中，所述处理器被配置为基于所测量的距离随时间的周期性变化，来检测所述样本相对于所述相机的振动，并校正所捕获的图像的焦点深度以便补偿所检测的振动。 21.一种检查方法，包括：在样本内不同的相应焦点深度处，捕获样本的图像序列，所述样本包括覆盖在样本的表面上的多个薄膜层；标识图像中的感兴趣特征；计算图像序列内的特征的最佳焦点的深度；和基于最佳焦点的深度来估计薄膜层内的特征的地点。 22.根据权利要求21所述的方法，其中捕获所述图像序列包括在捕获所述图像的同时用单色光照射所述样本。 23.根据权利要求22所述的方法，其中照射所述样本包括以暗场模式将光导向所述样本。 24.根据权利要求21所述的方法，其中计算最佳焦点的深度包括：计算所述图像中的所述特征的边缘的锐度，以及找到使所述锐度最大化的深度。 25.根据权利要求21所述的方法，其中捕获所述图像序列包括：在垂直于所述样本表面的方向上扫描相机的前焦平面，由此所述相机捕获不同焦点深度处的所述薄膜层的图像序列。 26.根据权利要求25所述的方法，其中计算最佳焦点的深度包括：测量所述相机与所述样本之间的距离，以及在估计所述特征的地点时应用所测量的距离。 27.根据权利要求26所述的方法，其中应用所测量的距离包括：基于测量的距离随时间的周期性变化来检测样本相对于相机的振动，并校正捕获的图像的焦点深度以便补偿所检测的振动。
所属类别：	发明专利