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原文传递传片系统及光刻机

专利名称：	传片系统及光刻机
摘要：	本发明提供了一种传片系统及光刻机，涉及光刻机的技术领域，包括传送轨道和预对准机构；传送轨道两侧边缘设有贴片，贴片配置成传送过程中避免被加工件与传送轨道的工作面摩擦；预对准机构包括分别位于传送轨道两侧的驱动导轮和预对准定位轮，驱动导轮上设有第一导轮槽，驱动导轮配置成与预对准定位轮配合抵接被加工件，且驱动卡入第一导轮槽内的被加工件旋转。本发明的目的在于提供一种传片系统及光刻机，以缓解了现有技术中存在的硅片关键区域划伤的技术问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	吉林;22
申请人：	吉林华微电子股份有限公司
发明人：	齐兆宇
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201910756610.7
公开号：	CN110436203A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	张洋
分类号：	B65G51/01(2006.01);B;B65;B65G;B65G51
申请人地址：	132013吉林省吉林市高新区深圳街99号
主权项：	1.一种传片系统，其特征在于，包括：传送轨道(100)和预对准机构(200)；所述传送轨道(100)两侧边缘设有贴片(110)，所述贴片(110)配置成传送过程中避免被加工件与所述传送轨道(100)的工作面摩擦；所述预对准机构(200)包括分别位于所述传送轨道(100)两侧的驱动导轮(210)和预对准定位轮(220)，所述驱动导轮(210)上设有第一导轮槽(211)，所述驱动导轮(210)配置成与所述预对准定位轮(220)配合抵接所述被加工件，且驱动卡入所述第一导轮槽(211)内的所述被加工件旋转。 2.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述贴片(110)采用铁氟龙材料制作而成。 3.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述传送轨道(100)上设有传送气孔(120)，所述传送气孔(120)朝向所述被加工件的传送方向倾斜，以吹动所述被加工件移动。 4.根据权利要求3所述的传片系统，其特征在于，所述传送气孔(120)包括轴线重合且彼此连通的第一腔体(121)和第二腔体(122)，所述第一腔体(121)的轴线朝向所述被加工件的传送方向倾斜；所述第一腔体(121)靠近所述传送轨道(100)的工作面且所述第一腔体(121)的内径小于所述第二腔体(122)的内径。 5.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述第一导轮槽(211)位于所述驱动导轮(210)靠近所述传送轨道(100)工作面的一端，且所述第一导轮槽(211)为V型槽。 6.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述预对准定位轮(220)上设有第二导轮槽(221)，所述第二导轮槽(221)位于所述预对准定位轮(220)靠近所述传送轨道(100)工作面的一端。 7.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述传片系统还包括吸附机构(300)，沿所述被加工件传送方向，所述吸附机构(300)位于所述预对准机构(200)前方；所述吸附机构(300)包括吸附部(310)，所述吸附部(310)上设有多个吸盘(311)，多个所述吸盘(311)沿所述传送轨道(100)的延伸方向间隔设置。 8.根据权利要求7所述的传片系统，其特征在于，所述吸盘(311)采用橡胶材料制成。 9.根据权利要求7所述的传片系统，其特征在于，所述传片系统还包括承片台(400)，沿所述被加工件传送方向，所述承片台(400)位于所述吸附机构(300)前方；所述承片台(400)上设有反吹气孔(410)，所述反吹气孔(410)配置成始终使所述被加工件浮于所述承片台(400)上方。 10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的传片系统。
所属类别：	发明专利