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一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法
| 专利名称： | 一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法，属于电子玻璃缺陷检测技术领域。一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法，包括以下步骤：1)将样品放在光学显微镜下，找到针状异物并做第一标记线，所述第一标记线所在的平面位于在针状异物的截面上；2)沿所述第一标记线截断样品，得到断面为针状异物的暴露面的样品；3)找到样品断面上的针状异物截面，在针状异物截面的外围做第二标记线；4)利用电子显微镜找到针状异物截面，并利用能谱仪对针状异物进行成分分析。该电子玻璃中针状异物成分的检测方法，解决了电镜下寻找针状异物速度慢、效率低下的问题。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 彩虹显示器件股份有限公司 |
| 发明人： | 刘晓芳;杨国洪;曾召 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-08-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-15T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910817847.1 |
| 公开号： | CN110455814A |
| 代理机构： | 西安通大专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李红霖 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 712000陕西省咸阳市秦都区玉泉西路西延段彩虹显示器件股份有限公司南门 |
| 主权项： | 1.一种电子玻璃中针状异物成分的检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 1)将样品(1)放在光学显微镜下，找到针状异物(2)并做第一标记线(3)，所述第一标记线(3)所在的平面位于在针状异物(2)的截面上； 2)沿所述第一标记线(3)截断样品，得到断面为针状异物(2)的暴露面的样品； 3)利用光学显微镜找到样品断面上的针状异物(2)截面，在针状异物截面的外围做第二标记线(4)； 4)将做好标记的样品(1)镀膜后，利用电子显微镜找到针状异物(2)截面，并利用能谱仪对针状异物(2)进行成分分析。 2.根据权利要求1所述的电子玻璃中针状异物成分的检测方法，其特征在于，步骤3)中，利用光学显微镜找到样品断面上的针状异物(2)截面时，光学显微镜的倍数为200倍。 3.根据权利要求1所述的电子玻璃中针状异物成分的检测方法，其特征在于，光学显微镜为Nikon ECLIPSE 50iPOL透射式显微镜。 4.根据权利要求1所述的电子玻璃中针状异物成分的检测方法，其特征在于，步骤4)镀膜采用的为Quorum Technologies的Q150R。 5.根据权利要求1所述的电子玻璃中针状异物成分的检测方法，其特征在于，步骤4)中，电子显微镜采用的为ZEISS EVO MA15电镜，能谱仪是OXFORD X-MAXN。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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