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原文传递一种用于洁净室立库的取放料装置

专利名称：	一种用于洁净室立库的取放料装置
摘要：	本实用新型公开了一种用于洁净室立库的取放料装置，包括：耦合的三个直线模组和一个旋转模组；三个直线模组分别为水平轴移动机构、上下轴移动机构和伸缩轴移动机构，旋转模组为旋转轴转动机构，水平轴移动机构、上下轴移动机构、旋转轴转动机构和伸缩轴移动机构依次相连，伸缩轴移动机构设有工件抓取机构，水平轴移动机构、上下轴移动机构用于将工件抓取机构移动到立库的取放料位置前，伸缩轴移动机构用于将工件抓取机构送入或送出立库的取放料位置以抓取或放下工件，旋转轴转动机构用于将工件抓取机构由一侧转动至相对的另一侧。本实用新型可根据需要选择合适的长度，灵活调整覆盖范围，成本低，特别适用于isoclass100的洁净环境。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海福赛特机器人有限公司
发明人：	陈朝星
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201920107915.0
公开号：	CN209668218U
代理机构：	上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	陶金龙;张磊
分类号：	B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	200233 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室
主权项：	1.一种用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，包括：耦合的三个直线模组和一个旋转模组；其中，三个所述直线模组分别为水平轴移动机构、上下轴移动机构和伸缩轴移动机构，所述旋转模组为旋转轴转动机构，所述水平轴移动机构、上下轴移动机构、旋转轴转动机构和伸缩轴移动机构依次相连，所述伸缩轴移动机构设有工件抓取机构，所述水平轴移动机构、上下轴移动机构用于将所述工件抓取机构移动到立库的取放料位置前，所述伸缩轴移动机构用于将所述工件抓取机构送入或送出立库的取放料位置以抓取或放下工件，所述旋转轴转动机构用于将所述工件抓取机构由一侧转动至相对的另一侧。 2.根据权利要求1所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述水平轴移动机构、上下轴移动机构、旋转轴转动机构和伸缩轴移动机构设有电缸，所述工件抓取机构设有气缸。 3.根据权利要求2所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述水平轴移动机构设有电机驱动丝杆传动形式的第一电缸，所述上下轴移动机构设有电机驱动丝杆传动形式的第二电缸，所述伸缩轴移动机构设有电机驱动同步轮传动形式的第三电缸，所述旋转轴转动机构设有电机驱动减速机传动形式的第四电缸。 4.根据权利要求3所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述第一电缸通过其设有的第一缸体沿x轴向设于一水平底座上，所述第一缸体中设有第一丝杆，所述第一丝杆连接设于第一缸体一端的第一电机，所述第一丝杆上耦合有第一螺母，所述第一螺母通过第一滑块连接所述第一缸体上设有的第一滑轨，所述第一滑块同时连接所述第二电缸设有的第二缸体。 5.根据权利要求4所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述第二缸体沿z轴向垂直连接所述第一缸体，所述第二缸体中设有第二丝杆，所述第二丝杆连接设于第二缸体一端的第二电机，所述第二丝杆上耦合有第二螺母，所述第二螺母通过第二滑块连接所述第二缸体上设有的第二滑轨，所述第二滑块同时连接所述第四电缸设有的第四缸体。 6.根据权利要求5所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述第四缸体沿z轴向垂直连接所述第二缸体，所述第四缸体上设有第四电机，所述第四电机连接减速机，所述减速机通过转轴连接所述第三电缸设有的第三缸体。 7.根据权利要求6所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述第三缸体沿y轴向垂直连接所述第四缸体，所述第三缸体上设有第三电机，所述第三电机通过同步轮连接第三滑块，所述第三滑块连接所述第三缸体上设有的第三滑轨，所述第三滑块同时连接所述工件抓取机构的气缸。 8.根据权利要求7所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述气缸沿z轴向垂直连接所述第三缸体，所述气缸连接多个同步气爪，所述气爪用于水平夹紧或松开工件。 9.根据权利要求7所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述第一电机至第四电机为伺服电机。 10.根据权利要求1所述的用于洁净室立库的取放料装置，其特征在于，所述工件为晶圆片。
所属类别：	实用新型