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原文传递柔性衬底溢出气体检测方法

专利名称：	柔性衬底溢出气体检测方法
摘要：	本发明提供一种柔性衬底溢出气体检测方法。该方法包括如下步骤：步骤S1、提供一待测试柔性衬底，截取所述待测试柔性衬底中相邻的两个部分，分别作为第一样品和第二样品；步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品进行溢出气体检测，得到第一检测结果；步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品进行溢出气体检测，得到第二检测结果，所述第二检测方法不同于第一检测方法；步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果，并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果，通过采用两种不同检测方法对待测试柔性衬底的两块样品进行两次检测，得到目标检测结果，能够提升柔性衬底溢出气体检测的准确性及全面性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉华星光电半导体显示技术有限公司
发明人：	李夫
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201910766122.4
公开号：	CN110487930A
代理机构：	深圳市德力知识产权代理事务所
代理人：	林才桂;王中华
分类号：	G01N30/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N30
申请人地址：	430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
主权项：	1.一种柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供一待测试柔性衬底(1)，截取所述待测试柔性衬底(1)中相邻的两个部分，分别作为第一样品(10)和第二样品(20)；步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品(10)进行溢出气体检测，得到第一检测结果；步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品(20)进行溢出气体检测，得到第二检测结果，所述第二检测方法不同于第一检测方法；步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果，并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果。 2.如权利要求1所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中第一检测方法为程序升温脱附-质谱法，所述第一检测结果包括溢出气体总量以及溢出气体成分。 3.如权利要求1所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S3中第二检测方法为热重分析-气相色谱-质谱法，所述第二检测结果包括溢出气体总量、溢出气体成分及溢出气体每一成分含量。 4.如权利要求2所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中采用第一检测方法对所述第一样品(10)进行溢出气体检测具体包括：在惰性气体条件下，使得第一样品(10)程序升温至第一过渡温度，并保温第一时长；使得第一样品(10)继续程序升温至检测温度，并保温第二时长，在保温期间，对第一样品(10)的溢出气体进行脱附分析及质谱分析，得到检测温度下的溢出气体总量以及溢出气体成分。 5.如权利要求4所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中第一过渡温度为100℃至200℃，第一时长为20～40分钟，检测温度为300～500℃，第二时长为50～70分钟。 6.如权利要求4所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中程序升温的速度为5～20℃/min。 7.如权利要求4所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述惰性气体条件为氦气条件。 8.如权利要求3所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S3中采用第二检测方法对所述第二样品进行溢出气体检测具体包括：将第二样品(20)升温至第二过渡温度；在第二样品(20)到达第二过渡温度后，继续使得第二样品(20)升温至目标温度，并在第二样品(20)从第二过渡温度升温至目标温度的同时对所述第二样品(20)产生的溢出气体进行热重分析、气相色谱分析及质谱分析，得到第二样品(20)产生的溢出气体总量、溢出气体的成分及每一成分的含量。 9.如权利要求8所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述第二过渡温度为250℃～300℃，目标温度为400℃～500℃。 10.如权利要求1所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述待测试柔性衬底(1)的材料为聚酰亚胺。
所属类别：	发明专利