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原文传递一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置及控制方法

专利名称：	一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置及控制方法
摘要：	本发明一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，包括供液系统和切割系统，其中，供液系统包括供液源、过滤罐和检测仪，供液源的输出端与过滤罐的输出端连通，并置于过滤罐的下方；供液源和过滤罐经同一管道与切割系统的连通；检测仪置于过滤罐内侧下部且置于过滤罐输出口上方；切割系统包括切割室、喷淋管和回收桶，喷淋管置于切割室内，喷淋管与供液源连通，回收桶置于切割室下方并与切割室下端出口连通，回收桶与过滤罐连通。本发明还提出一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置的控制方法。本发明设计出检测装置，不仅可回收过滤切割废液而且可实时监控流入喷淋管中切割液硅粉浓度，及时调整供液源流量，提高切割液纯度，保证产品质量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	内蒙古;15
申请人：	内蒙古中环光伏材料有限公司
发明人：	郭俊文;钟海涛;魏燕平;赵越;危晨;武瑞;范猛
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910863639.5
公开号：	CN110450293A
代理机构：	天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	栾志超
分类号：	B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
主权项：	1.一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，包括供液系统和切割系统，其中，所述供液系统包括供液源、过滤罐和检测仪，所述供液源的输出端与所述过滤罐的输出端连通，并置于所述过滤罐的下方；所述供液源和所述过滤罐经同一管道与所述切割系统连通；所述检测仪置于所述过滤罐内侧下部且置于所述过滤罐输出口上方；所述切割系统包括切割室、喷淋管和回收桶，所述喷淋管置于所述切割室内，所述喷淋管与所述供液源连通，所述回收桶置于所述切割室下方并与所述切割室下端出口连通，所述回收桶与所述过滤罐连通。 2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，所述过滤罐包括上开口的柱状罐体；在所述罐体侧壁靠近上开口处设有输入口；在所述罐体内壁设有与所述罐体一体成型的环状凸缘，所述凸缘位于所述输入口下方。 3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，在所述罐体内设有过滤结构，所述过滤结构置于所述凸缘下方并与所述凸缘上端面配合；所述过滤结构位于所述检测仪上方。 4.根据权利要求3所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，所述过滤结构包括固定架，在所述固定架下方设有与所述固定架一体设置的滤网支架，沿所述滤网支架内壁设有若干向内延伸的凸台，所述凸台均匀间隔设置。 5.根据权利要求4所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，在所述滤网支架上方设有第一过滤网，所述第一过滤网与所述凸台之间设有空隙；在相邻所述凸台之间设有第二过滤网，所述第二过滤网位于所述滤网支架下端部；所述第一过滤网网孔大于所述第二过滤网网孔。 6.根据权利要求1-5任一项所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，所述供液系统还包括热交换器，所述热交换器置于所述供液源与所述喷淋管之间；所述热交换器的温度为16-18℃。 7.根据权利要求6所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，在所述切割室下部设有导流筒，所述导流筒的出口与所述回收桶的上端口连通。 8.根据权利要求7所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置，其特征在于，在所述回收桶内设有水泵，所述水泵的输出端与所述过滤罐的输入端连通。 9.一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置的控制方法，其特征在于，采用如权利要求1-9任一项所述的检测装置，所述供液源依次经过所述热交换器后进入所述切割室内的所述喷淋管中，使用后的切割废液依次经所述导流筒和所述回收桶后输入到所述过滤罐中过滤。 10.根据权利要求9所述的一种大尺寸硅片切割液硅粉浓度检测装置的控制方法，其特征在于，所述检测仪对过滤后的切割液中的硅粉浓度进行检测，若合格继续使用；若不合格，所述供液源根据检测结果再向所述过滤罐补充切割原液。
所属类别：	发明专利