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原文传递异形基板边缘检查装置

专利名称：	异形基板边缘检查装置
摘要：	本实用新型提供一种异形基板边缘检查装置，包括以数值控制进退移动机构B在左右方向进退移动的第一移动体C、在第一移动体C移动路单侧以数值控制进退移动机构E在前后方向进退移动的第二移动体F、在第二移动体F上接受供给异形基板X的桌台G、以在第一移动体上C自由旋转的方式轴承且固定于旋转轴10下端的旋转支持构件11、装设于旋转支持构件11下面且对焦于桌台G上的异形基板X边缘的2D雷射位移计12、在旋转支持构件11一端对焦于桌台G上的异形基板X边缘的线感应器13、照射旋转支持构件11另一端侧的2D雷射位移计12及线感应器13的焦点的照明装置14、及使线感应器13的焦点朝向法线方向且使旋转轴10可逆驱动的驱动机构H。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	白井科技股份有限公司
发明人：	白井明
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201920239734.3
公开号：	CN209727743U
代理机构：	北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人：	孙皓晨;李林
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本国大阪府东大阪市柏田西3丁目5番21号
所属类别：	实用新型