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数字全息显微镜及使用其的检查方法和半导体制造方法
| 专利名称： | 数字全息显微镜及使用其的检查方法和半导体制造方法 |
| 摘要： | 提供了一种能够在高分辨率下精确检查检查对象的同时执行高速检查的低成本数字全息显微镜(DHM)，一种利用DHM的检查方法和一种利用DHM制造半导体装置的方法。DHM包括：光源，其被构造为产生和输出光；分束器，其被构造为使得光入射到检查对象并且输出来自检查对象的反射光；以及检测器，其被构造为检测反射光，其中，当反射光包括干涉光时检测器产生干涉光的全息图，并且其中在从光源至检测器的路径上无透镜。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 韩国;KR |
| 申请人： | 三星电子株式会社 |
| 发明人： | 李明俊;金郁来;朴光植;崔昌勋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-02-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-10T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910128810.8 |
| 公开号： | CN110554005A |
| 代理机构： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 赵南;张青 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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