专利名称: | 一种载带封装处理器 |
摘要: | TCP处理器传送TCP带(X),将多个TCP(1)在薄膜衬底上对准,使得各TCP的测试片相对于测针(9)精确地定位,以便用于半导体集成电路测试。这里,链轮(4,5)可实现TCP带沿其纵向方向传送;然后,TCP带暂时停止,使得TCP被夹紧且朝测针下降。CCD照相机(10)拍摄TCP的图像(G1),并将其与基准图像(G2)比较,从而对TCP相对测针的定位进行两维的精确调节。或者,TCP带通过一对滚轮在滚轮间产生的摩擦来传送TCP带。根据TCP带的传送值对滚轮的旋转进行反馈控制。因此,可以保证测针和载带封装的测 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 安藤电气株式会社 |
发明人: | 牧下裕之;新村年弘 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2002-03-27T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN02108530.7 |
公开号: | CN1378261 |
代理机构: | 中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人: | 章社杲 |
分类号: | H01L21/66 |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |