原文传递
利用机器人分划板末端执行器来输送和加装分划板所用的方法和装置
| 专利名称： | 利用机器人分划板末端执行器来输送和加装分划板所用的方法和装置 |
| 摘要： | 将分划板输送及加装到一个接收台(例如一个分划板曝光台)上所用的一种装置和方法。首先利用一个末端执行器将分划板从存储装置中取出，该末端执行器具有一个与安装盘相连接的分划板盘。安装盘用于使末端执行器与一个机器人臂相连。在脱机对准台中的一个平面外位置中将分划板对准。所述的对准与在接收台处所要求的对准相符合。在脱机对准台处将分划板对准之后，将分划板安装到分划板盘上。然后，将分划板从脱机对准台输送到接收台上，同时保持在脱机对准台上所预先完成的对准。该装置还为安装的分划板提供硬度以保证符合接收台处的对准要求。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | ASML美国公司 |
| 发明人： | 格伦·M·弗莱德曼;彼得·克切尔斯伯格 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-01-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN03101059.8 |
| 公开号： | CN1433940 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 张祖昌 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 美国康涅狄格 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
