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输送和处理衬底的对接型系统和方法
| 专利名称： | 输送和处理衬底的对接型系统和方法 |
| 摘要： | 一种衬底输送/处理系统包括：衬底堆垛基座；用于从/向基座接收/输送衬底的衬底输送构件；用于清洁和干燥从衬底输送构件输送的衬底的衬底清洁/干燥装置；用于处理经过衬底清洁/干燥装置清洁和干燥、并且通过衬底输送构件输送的衬底的衬底处理装置。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 发明人： | 朴庸硕;金京喆;李硕周 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-06-15T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410048730.5 |
| 公开号： | CN1577720 |
| 代理机构： | 北京德琦知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 分类号： | H01L21/00 |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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