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原文传递并行传送系统和方法

专利名称：	并行传送系统和方法
摘要：	本发明提供了一种能够安全传送和高效处理基片的并行传送系统和方法，如玻璃基片或半导体装置。其包括含有多个空气喷嘴的旋转式传送器，多个空气喷嘴无须接触基片即可注入空气使空气喷嘴上面的基片移动。旋转式传送器上至少需要两个单独的处理单元可操作地结合在一起。其优越性在于，由于可以同时处理多个基片，效率更高，适应性更强。因为在空气喷嘴结构和基片之间无须物理接触即可移动基片，所以传送安全、干净、且有效。
专利类型：	发明专利
申请人：	三星电子株式会社
发明人：	张元基;尹起天;安根洙
专利状态：	有效
申请日期：	2004-09-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410074215.4
公开号：	CN1590251
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	余刚;彭焱
分类号：	B65G49/05
申请人地址：	韩国京畿道
所属类别：	发明专利