详情

原文传递制造系统、配送系统及配送方法

专利名称：	制造系统、配送系统及配送方法
摘要：	一种制造系统，其包括复数机台群组及一配送系统。其中上述复数机台群组包含复数制程机台，其可以处理在制品。其中上述配送系统是设置于上述制程机台之间，用以配送上述在制品，其包括复数机台群组内配送次系统、至少一机台群组间配送次系统、复数缓冲仓储及至少一连结次系统。上述配送系统的特征在于上述连结次系统分别设置于上述机台群组中两相邻机台群组之间，并且直接耦合对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统，其中上述连结次系统的规格兼容于对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统的规格。
专利类型：	发明专利
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	张格斌;施瑞安;刘辉堂
专利状态：	有效
申请日期：	2004-03-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410008414.5
公开号：	CN1603066
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	王一斌
分类号：	B23Q41/00
申请人地址：	台湾省新竹科学工业园区
所属类别：	发明专利