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原文传递半导体处理系统及其搬送机构

专利名称：	半导体处理系统及其搬送机构
摘要：	在半导体处理系统中用于将被处理基板(W)对于处理装置进行搬送的搬送机构(26)具有搬送基台(30)。在搬送基台(30)上并列设置可滑动的第一及第二保持臂(32A、32B)。第一及第二保持臂(32A、32B)分别具有用于保持被处理基板(W)的第一及第二保持面(33A、33B)。它们实质上位于同一平面上。第一及第二保持臂(32A、32B)进行动作，使所述第一及第二保持面(33A、33B)对于所述搬送基台(30)实质性地向同一侧突出。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	铃江武彦
专利状态：	有效
申请日期：	2003-01-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03802022.X
公开号：	CN1613147
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利