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算出搬送机构的搬送偏差的方法及半导体处理装置
| 专利名称： | 算出搬送机构的搬送偏差的方法及半导体处理装置 |
| 摘要： | 仿真基板(17)在具有用于辅助中心定位的第一引导体(G1)这 一点与被处理基板不同，但可以作为被处理基板的替代物而被操作。 处理室(2)配设有用于辅助仿真基板(17)中心定位的第二引导体(G2)。 为了算出搬送机构(TRM)的搬送偏差，首先在装载台(14)的上面 或上方，通过使第一和第二引导体(G1、G2)结合，使仿真基板(17) 相对于装载台14中心定位。这样，利用搬送机构(TRM)接受已经中 心定位的仿真基板(17)并将其搬送到检测器(11)。然后，利用检测 器(11)得到仿真基板(17 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 町山弥 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-02-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580008539.0 |
| 公开号： | CN1934692 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | H01L21/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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