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原文传递搬送装置及驱动机构

专利名称：	搬送装置及驱动机构
摘要：	被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2 臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A， 28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构 (30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第 1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	佐伯弘明;石泽繁;新藤健弘;广木勤;町山弥
专利状态：	有效
申请日期：	2004-07-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200480001008.4
公开号：	CN1701432
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳;王雪燕
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利