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原文传递真空处理装置

专利名称：	真空处理装置
摘要：	本发明提供一种真空处理装置，是具备真空处理室(20)、(22)、(24) 和基板搬运器(40)、和预备室(14)的立式真空处理装置(10)，其特征是，在预备室(14)内以及真空处理室(20)、(22)、(24)内设置往去路 (16)和返回路(18)这两个搬送路径的同时，在真空处理室(24)内具备将基板搬运器从往去路(16)转移至返回路(18)的转移机构。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社爱发科
发明人：	肉仓真人;森胜彦;中岛利夫;新井进
专利状态：	有效
申请日期：	2005-05-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510073790.7
公开号：	CN1702024
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	刘建
分类号：	B65G49/06
申请人地址：	日本神奈川县
所属类别：	发明专利