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晶片盒的运用方法和搬送方法、晶片盒搬送用保持部件
| 专利名称： | 晶片盒的运用方法和搬送方法、晶片盒搬送用保持部件 |
| 摘要： | 本发明提供一种在半导体制造工序中，能够简化晶片盒的运用， 降低运用成本的晶片盒的搬送方法，晶片盒的运用方法及晶片盒搬送 用保持部件。本发明的晶片盒的运用方法的特征在于，在该晶片盒(10) 的两个侧面(11A)分别可装卸地设置有手柄，在自动搬送线(103) 中，从晶片盒(10)卸下手柄，利用无人搬送车(102、106)在该部 分上安装可保持晶片盒(10)的保持部件(20)，运用晶片盒(10)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 秋山收司 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-03-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710091347.1 |
| 公开号： | CN101047139 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | H01L21/673(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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