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原文传递衬底处理装置

专利名称：	衬底处理装置
摘要：	一种半导体工件处理装置，具有第一室，运输工具和另外的室。所述第一室能与外界气体环境隔离。运输工具处在第一室内并被第一室可动地支承着，以相对于第一室作直线运动。该运输工具包括可动地安装在底座上的整体半导体工件输送臂，该输送臂能相对于底座作多路径运动。另外的室通过第一室的可关闭开口与第一室联通。开口的尺寸做成使运输工具通过开口在第一室和另外的室之间移动。
专利类型：	发明专利
申请人：	布鲁克斯自动化公司
发明人：	C·A·霍夫梅斯特;R·T·卡夫尼;M·维斯
专利状态：	有效
申请日期：	2003-07-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03822550.6
公开号：	CN1759051
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	肖春京
分类号：	B65G1/133(2006.01)I
申请人地址：	美国马萨诸塞州
所属类别：	发明专利