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原文传递衬底搬运机器人及处理装置

专利名称：	衬底搬运机器人及处理装置
摘要：	本发明的搬运机器人由呈同心状配备的2个驱动源、在各驱动源侧面突出配备的驱动臂、配备在驱动臂另一端的2个从动臂和在以2个成1组的从动臂的前端配备的手构成。该搬运机器人将各驱动源向不同方向或相同方向转动，由此能够经由各臂使第一手、第二手进行进退动作、转动。另外，配备搬运机器人的本发明的处理装置配备多个平面形状为四边形状的移载室并将其用连结处理室连结，利用在移载室的内部中央附近设置的衬底搬运机器人向配备在移载室各侧壁面上的2个处理室进行衬底的交接。
专利类型：	发明专利
申请人：	日商乐华股份有限公司
发明人：	佐藤雅昭;玉造大悟;藤井诚一;小川直树;谷冈笃吉;细川博文;广田健二
专利状态：	有效
申请日期：	2006-06-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680022030.6
公开号：	CN101223636
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	刘文海
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本国广岛县
所属类别：	发明专利