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原文传递定位套件与定位方法

专利名称：	定位套件与定位方法
摘要：	一种定位套件与定位方法，适用于机器的加载端口与搬运系统之间的定位。此定位套件包括信号发射单元及定位板，分别置于搬运系统及加载端口上。其中，信号发射单元上有二定位点可产生二光束射向定位板，且定位板上有位置对应于二定位点的二孔洞。当此二光束可垂直于水平状态的定位板而穿过该二孔洞时，即表示加载端口已对准搬运系统。
专利类型：	发明专利
申请人：	力晶半导体股份有限公司
发明人：	林柏青;杨育正
专利状态：	有效
申请日期：	2004-10-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410088233.8
公开号：	CN1763906
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	陶凤波;柳传扬
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	台湾省新竹市
所属类别：	发明专利