专利名称: | 定位套件与定位方法 |
摘要: | 一种定位套件与定位方法,适用于机器的加载端口与搬运系统之间的定 位。此定位套件包括信号发射单元及定位板,分别置于搬运系统及加载端口 上。其中,信号发射单元上有二定位点可产生二光束射向定位板,且定位板 上有位置对应于二定位点的二孔洞。当此二光束可垂直于水平状态的定位板 而穿过该二孔洞时,即表示加载端口已对准搬运系统。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 力晶半导体股份有限公司 |
发明人: | 林柏青;杨育正 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2004-10-21T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200410088233.8 |
公开号: | CN1763906 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 陶凤波;柳传扬 |
分类号: | H01L21/00(2006.01)I |
申请人地址: | 台湾省新竹市 |
所属类别: | 发明专利 |