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原文传递二维并联驱动的硅片搬运机器人

专利名称：	二维并联驱动的硅片搬运机器人
摘要：	本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮I(7)、同步电机和同步轮II(8)、同步带结构I(9)、摇臂I(10)，轴I(12)、摇臂II(13)、同步带结构II(14)、轴II(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R 轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖
专利类型：	发明专利
申请人：	哈尔滨工业大学
发明人：	孙立宁;刘延杰;荣伟彬;曲东升;谢晖
专利状态：	有效
申请日期：	2005-10-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510010440.6
公开号：	CN1779936
代理机构：	哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司
代理人：	祖玉清
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	150001黑龙江省哈尔滨市南岗区一匡街2号哈工大科技园C1栋
所属类别：	发明专利