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原文传递驱动源及移动式搬运机器人

专利名称：	驱动源及移动式搬运机器人
摘要：	本发明具备用于安装在能够使内部为真空气氛的筐体内的基座构件。在该基座构件上设置隔开大气气氛和真空气氛的隔壁，并且在基座构件上的不同于转动构件的部位设置驱动源的转动部分即转动构件。由于在该隔壁的大气气氛侧设有作为尘埃的产生源的电枢，所以能够确保真空气氛侧的高净化度。另外，通过将该隔壁和转动构件设置在不同的部位，可不考虑隔壁用于支承转动构件的刚性，能够减薄隔壁的厚度。另外，能够减少转动构件的转动造成的振动或惯性所产生的挠曲带来的影响，与现有的结构相比，缩短了从电枢到转动构件所具备的
专利类型：	发明专利
申请人：	日商乐华股份有限公司
发明人：	佐藤雅昭
专利状态：	有效
申请日期：	2005-07-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200580022840.7
公开号：	CN1981371
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	李贵亮
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	日本国广岛县
所属类别：	发明专利