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包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备
| 专利名称： | 包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备 |
| 摘要： | 提供一种用来搬运基板的机器人，其中，冷却接触型真空密封件， 防止真空密封件超过耐热温度，并防止引起大气漏入维持气密的搬运 室的缺点。 在用来在真空环境下搬运基板的包含一组臂的机器人的驱动设备 中，用来驱动以旋转一组臂(40)的驱动设备(1)布置在大气侧和真 空侧之间并且在大气侧被驱动，驱动设备在固定构件和输出构件之间 设置有接触型真空密封件(30)，此外，油密封件(21)在固定构件 和输出构件之间设置在接触型真空密封件的大气侧上，接触型真空密 封件和油密封件在固定构件和输出构件之间形成环状 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 纳博特斯克株式会社 |
| 发明人： | 丹下诚 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-01-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780003104.6 |
| 公开号： | CN101375385 |
| 代理机构： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 陆锦华;黄启行 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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