专利名称: |
动量空间光学相位测量系统 |
摘要: |
本发明涉及一种动量空间光学相位测量系统,包括:物镜,置于待测样品的后方;第一分束器,置于物镜的后方;两个透镜,以一定间距置于第一分束器的后方;光电探测设备,置于的两个透镜的后方;以及光束发射装置,用于形成光束;其中,光束被分成射向待测样品的第一路光束和射向第一分束器的第二路光束;第一路光束经过待测样品和物镜而进入第一分束器并与第二路光束合束形成汇合光束,汇合光束依次通过的两个透镜并射入光电探测设备。本发明采用光束分成经过样品和不经过样品的两路光束传播,而后在样品的动量空间中重新叠加,进而利用光学探测设备测量叠加信号的强度,从中提取出样品在动量空间中的光学相位响应信息。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
上海复享光学股份有限公司 |
发明人: |
张译文;石磊;资剑;殷海玮;胡松婷 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-10-24T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-12-31T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201911017799.4 |
公开号: |
CN110631994A |
代理机构: |
上海唯源专利代理有限公司 |
代理人: |
宋小光 |
分类号: |
G01N21/17(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
200433 上海市杨浦区国定东路200号4号楼412-1室 |
主权项: |
1.一种动量空间光学相位测量系统,其特征在于,包括: 物镜,置于待测样品的后方; 第一分束器,置于所述物镜的后方; 两个透镜,以一定间距置于所述第一分束器的后方; 光电探测设备,置于所述的两个透镜的后方;以及 光束发射装置,用于形成光束; 其中,所述光束发射装置形成的光束被分成射向所述待测样品的第一路光束和射向所述第一分束器的第二路光束; 所述第一路光束经过所述待测样品和所述物镜而进入所述第一分束器并与所述第二路光束经所述第一分束器合束形成汇合光束,所述汇合光束依次通过所述的两个透镜并射入所述光电探测设备,所述光电探测设备用于从所述汇合光束中测得所述待测样品在动量空间中的光学相位信息。 2.如权利要求1所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述光束发射装置包括置于所述第一分束器第一侧的光源和置于所述第一分束器与第一侧相对的第二侧的反射镜; 所述光源产生的光束经所述第一分束器分成所述第一路光束和所述第二路光束; 其中,所述第一路光束经过所述物镜入射至所述待测样品并经所述待测样品反射而进入所述第一分束器; 所述第二路光束经过所述反射镜反射而进入所述第一分束器。 3.如权利要求2所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述反射镜至所述第一分束器的光程满足以下条件: 其中,l1表示所述反射镜至所述第一分束器的光程,l0表示所述光源的相干长度,l2表示所述待测样品至所述第一分束器的光程。 4.如权利要求2所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述的两个透镜之间设有光阑。 5.如权利要求4所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述光阑位于所述的两个透镜之间的像面处。 6.如权利要求1所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述光束发射装置包括光源、置于所述光源前方的第二分束器、置于所述第二分束器一侧和所述待测样品前方的第一斜向反射镜以及置于所述第二分束器的另一侧的第二斜向反射镜,所述第二斜向反射镜也设于所述第一分束器的一侧; 所述光源发出的光束经所述第二分束器分成所述第一路光束和所述第二路光束; 其中所述第一路光束经所述第一斜向反射镜反射至所述待测样品,进而透过所述待测样品和所述物镜而进入所述第一分束器; 所述第二路光束经过所述第二斜向反射镜反射而进入所述第一分束器。 7.如权利要求6所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述第二分束器经所述第一斜向反射镜至所述待测样品再至所述第一分束器的光程满足以下条件: 其中,其中,l3表示所述第二分束器至所述待测样品再至所述第一分束器的光程,l0表示所述光源的相干长度,l4表示所述第二分束器经所述第二斜向反射镜至所述第一分束器的光程。 8.如权利要求6所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述的两个透镜之间设有偏振片; 所述光源与所述第二分束器之间也设有偏振片。 9.如权利要求2或6所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述的两个透镜中的前部透镜至所述物镜的后焦平面的距离满足以下条件: 0≤d1≤2fA 其中,d1表示前部透镜至所述物镜的后焦平面的距离,fA表示前部透镜的焦距; 所述的两个透镜中的后部透镜至前部透镜的距离满足以下条件: d2>fA 其中,d2表示后部透镜至前部透镜的距离。 10.如权利要求2或6所述的动量空间光学相位测量系统,其特征在于,所述的两个透镜将所述物镜的后焦平面成像在所述的两个透镜后方的后焦平面第一次成像面处; 所述光电探测设备具有一接收面,所述接收面邻近所述的后焦平面第一次成像面设置。 |
所属类别: |
发明专利 |