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原文传递四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置

专利名称：	四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置
摘要：	本说明书实施例提供一种四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，属于图像采集技术领域，包括检测光源组件、相位板、第一傅里叶变换透镜、半透半反镜及第二傅里叶变换透镜；检测光源组件、相位板、第一傅里叶变换透镜、半透半反镜、第二傅里叶变换透镜及图像采集装置同光轴地依次设置；待检测晶体位于第一傅里叶变换透镜和第二傅里叶变换透镜重合的焦平面上，具有将晶体内部缺陷的相位信息转化为灰度信息，便于后续基于晶体缺陷图像对晶体缺陷进行分析的优点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州大学
发明人：	吴迪;朱涛;杨勇;高恬曼;黄玉玲;陶昕辰;司俊文;朱厚森;张泽宇
专利状态：	有效
申请日期：	2022-06-29T00:00:00+0800
发布日期：	2023-01-20T00:00:00+0800
申请号：	CN202221642861.6
公开号：	CN218350145U
代理机构：	苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	唐静芳
分类号：	G01N21/95;G01N21/01;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95;G01N21/01
申请人地址：	215006 江苏省苏州市相城区济学路8号
主权项：	1.一种四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，包括检测光源组件、相位板、第一傅里叶变换透镜、半透半反镜、第二傅里叶变换透镜及图像采集装置；所述检测光源组件、所述相位板、所述第一傅里叶变换透镜、所述半透半反镜、所述第二傅里叶变换透镜及所述图像采集装置同光轴地依次设置；待检测晶体位于所述第一傅里叶变换透镜和所述第二傅里叶变换透镜重合的焦平面上。 2.如权利要求1所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，还包括显微成像组件，通过所述待检测晶体的光线经所述半透半反镜分光后，一部分进入所述显微成像组件，另一部分进入所述图像采集装置。 3.如权利要求1所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述检测光源组件包括半导体激光器。 4.如权利要求3所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述半导体激光器发射的检测光线的波长为860纳米。 5.如权利要求1所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述第一傅里叶变换透镜和所述第二傅里叶变换透镜的焦距均为400毫米。 6.如权利要求1所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述相位板的相移为0.5π。 7.如权利要求1-5任意一项所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，还包括处理器，所述处理器用于：对所述图像采集装置采集的晶体缺陷特征图像进行预处理，获取预处理后的灰度图像；对所述预处理后的灰度图像进行灰度分析，确定灰度信息；基于所述灰度信息，确定缺陷厚度。 8.如权利要求7所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述处理器还用于：对所述晶体缺陷特征图像进行修复，获取修复后的灰度图像；确定所述修复后的灰度图像中的缺陷主要信息区域与缺陷次要信息区域。 9.如权利要求8所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述处理器还用：分别计算缺陷主要信息区域对应的第一平均灰度及缺陷次要信息区域对应的第二平均灰度；计算第一平均灰度和第二平均灰度对应的平均灰度差值；判断平均灰度差值是否大于预设阈值；若平均灰度差值大于预设阈值，将第一平均灰度作为灰度信息。 10.如权利要求9所述的四焦距相位相干成像的光学测量机器视觉装置，其特征在于，所述处理器还用：根据灰度与厚度对应关系，基于所述平均灰度确定所述缺陷厚度。