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原文传递工件运送装置

专利名称：	工件运送装置
摘要：	本发明的课题在于提供可确实防止清洗区域的清洗液、清洗气体向非清洗区域泄漏的情况的工件运送装置。一种用于在工件的清洗时运送工件的工件运送装置，该工件运送装置包括滚轮运送轴(5)，该滚轮运送轴(5)设置于在通过隔壁(3)和盖与外部隔离的处理槽(2)的内部，分别具有滚轮(6)；被动侧磁铁(11)，该被动侧磁铁(11)安装于该滚轮运送轴(5)的前端部；驱动侧磁铁(15)，该驱动侧磁铁(15)在上述处理槽(2)的外侧，通过将形成于上述隔壁(3) 的通孔(14)封闭的薄膜(13)，按照与上述
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社杰维思
发明人：	小林芳树
专利状态：	有效
申请日期：	2005-11-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510125836.5
公开号：	CN1799963
代理机构：	北京三幸商标专利事务所
代理人：	刘激扬
分类号：	B65G49/00(2006.01)I
申请人地址：	日本国埼玉县
所属类别：	发明专利