专利名称: | 基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置 |
摘要: | 本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置,可将基板搬 入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上 被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架 (1R)上的基板(1G)时,使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升 降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上, 并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷 出压力空气,从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 神钢电机株式会社 |
发明人: | 北泽保良 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2004-11-04T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200480032167.0 |
公开号: | CN1875470 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 陶凤波;侯 宇 |
分类号: | H01L21/68(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |