专利名称: |
基板搬出装置 |
摘要: |
提供能够从至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板多次划分分割单元并从基板载置部顺畅且适当搬出的基板搬出装置。基板搬出装置(1)的特征在于,其具有:基板载置部(2),其载置有在规定方向上被分割成多个分割单元的基板(F);片材(3),其覆盖载置在基板载置部(2)上的基板(F)的上表面;片材移送部(100),其在规定方向上输送片材(3);以及搬出部(300),其搬出未被片材(3)覆盖的基板(F)的分割单元。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
日本;JP |
申请人: |
三星钻石工业股份有限公司 |
发明人: |
西尾仁孝;高松生芳;上野勉 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-11-27T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-07-19T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201811438206.7 |
公开号: |
CN110027910A |
代理机构: |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人: |
刘影娜 |
分类号: |
B65G49/06(2006.01);B;B65;B65G;B65G49 |
申请人地址: |
日本国大阪府 |
主权项: |
1.一种基板搬出装置,其特征在于,所述基板搬出装置具有: 基板载置部,其载置有至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板; 片材,其覆盖载置在所述基板载置部上的所述基板的上表面; 片材移送部,其在所述规定方向上输送所述片材;以及 搬出部,其搬出未被所述片材覆盖的所述基板的分割单元。 2.根据权利要求1所述的基板搬出装置,其特征在于, 所述基板载置部具有用于对所载置的所述基板的下表面赋予压力的压力赋予部,在所述搬出部进行搬出动作时,通过所述压力赋予部对所述基板的下表面赋予正压来输送空气。 3.根据权利要求1或2所述的基板搬出装置,其特征在于, 所述片材移送部具有能够在所述规定方向上移动的搬运辊, 所述片材沿着所述搬运辊的外周面折返配置, 所述片材移送部以在所述基板的上表面侧不与所述基板接触的方式使所述搬运辊移动来移送所述片材。 4.根据权利要求3所述的基板搬出装置,其特征在于, 所述基板搬出装置具有: 锤,其对所述片材赋予张力;以及 引导辊,其介于所述锤与所述搬运辊之间,将所述片材向所述搬运辊引导。 5.根据权利要求4所述的基板搬出装置,其特征在于, 所述锤的外周面的至少一部分成为向外侧凸出的曲面, 所述片材沿着所述锤的外周面折返配置,并且端部被固定为不能移动。 6.根据权利要求5所述的基板搬出装置,其特征在于, 所述锤以被引导构件支承为能够在上下方向上移动的状态载置于所述片材的折返位置。 |
所属类别: |
发明专利 |