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基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统
| 专利名称： | 基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统 |
| 摘要： | 本发明提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的 基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统。本发明的基板搬出搬入方法，相对于 以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部(15)、并在各层的 长支撑部(15)上承载基板(1)进行多层收纳的箱体(11)，使用具有承载 所述基板(1)用的手部(22)的机器人(21)将基板(1)搬出搬入，包含对 将要承载对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)或已经承载有 对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)进行支承、扩大箱 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 日本电产三协株式会社 |
| 发明人： | 矢泽隆之;荒川洋;小山淳之介 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-07-13T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610105710.6 |
| 公开号： | CN1895974 |
| 代理机构： | 上海专利商标事务所有限公司 |
| 代理人： | 方晓虹 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本长野县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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