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基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置
| 专利名称： | 基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置 |
| 摘要： | 本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬 入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上 被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架 (1R)上的基板(1G)时，使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升 降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上， 并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷 出压力空气，从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 神钢电机株式会社 |
| 发明人： | 北泽保良 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-11-04T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710197181.1 |
| 公开号： | CN101188206 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 陶凤波 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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