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原文传递工厂自动化系统及相关方法

专利名称：	工厂自动化系统及相关方法
摘要：	本发明揭示一种工厂自动化系统及相关方法。实施例为工厂自动化系统，适用于晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一隔间包括由隔间内高架式晶片运输(OHT)系统互连的多个制造设备，以及第一隔间之间OHT系统和第二隔间之间OHT系统用以互连该隔间内高架式晶片运输系统。该工厂自动化系统包括：制造执行系统，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的晶片批次信息；物料控制系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的流量信息；以及整合运输控制系统，用以根据传送请求，利用该制造执行系统产生的批
专利类型：	发明专利
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	游志源;游仁祈;汪明
专利状态：	有效
申请日期：	2006-12-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610164733.4
公开号：	CN101109932
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：	陈晨
分类号：	G05B19/04(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹市
所属类别：	发明专利