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位置修正装置、真空处理装置以及位置修正方法
| 专利名称： | 位置修正装置、真空处理装置以及位置修正方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种即使不使用输送机器人也能够消除位置偏差的技 术。使载置于载置台(55)上的输送对象物(31～33)旋转，使误差角 度(α)变为零后，使临时载置部(16)向斜向移动，使水平分量移动 误差距离(L)，使输送对象物(31～33)的中心(O′)位于载置台(55) 的中心轴线(58)上，载置到载置台(55)上。在刻痕的方向确定的情 况下，再使载置台(55)旋转希望的量。这样，不使用输送机器人便能 消除误差角度(α)与误差距离(L)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社爱发科 |
| 发明人： | 藤井佳词 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-06-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680022769.7 |
| 公开号： | CN101208791 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 温大鹏 |
| 分类号： | H01L21/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本神奈川县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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