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原文传递 桥接仓储的选择方法及系统
专利名称: 桥接仓储的选择方法及系统
摘要: 一种桥接仓储的选择方法。首先,依据第一及第二晶圆厂的多个设备的 布局方式,分类多个设备为多个群组。指定一跨厂传输路线对应的桥接仓储 群组。上述跨厂传输路线的起点及终点分别为不同厂中的群组。当接收到跨 厂传输命令时,其中上述跨厂传输命令的起点设备及终点设备分别属于上述 跨厂传输路线的起点及终点,取得上述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群 组的实时信息。根据上述取得的实时信息以选择上述桥接仓储群组的其中一 者作为上述适合的桥接仓储,以转运上述跨厂传输命令指定的晶圆传送盒。
专利类型: 发明专利
申请人: 力晶半导体股份有限公司
发明人: 张仁俊;戴淑萍
专利状态: 有效
申请日期: 2007-01-30T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200710004740.2
公开号: CN101236886
代理机构: 北京市柳沈律师事务所
代理人: 黄小临;王志森
分类号: H01L21/00(2006.01)I
申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
所属类别: 发明专利
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