专利名称: | 桥接仓储的选择方法及系统 |
摘要: | 一种桥接仓储的选择方法。首先,依据第一及第二晶圆厂的多个设备的 布局方式,分类多个设备为多个群组。指定一跨厂传输路线对应的桥接仓储 群组。上述跨厂传输路线的起点及终点分别为不同厂中的群组。当接收到跨 厂传输命令时,其中上述跨厂传输命令的起点设备及终点设备分别属于上述 跨厂传输路线的起点及终点,取得上述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群 组的实时信息。根据上述取得的实时信息以选择上述桥接仓储群组的其中一 者作为上述适合的桥接仓储,以转运上述跨厂传输命令指定的晶圆传送盒。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 力晶半导体股份有限公司 |
发明人: | 张仁俊;戴淑萍 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-01-30T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710004740.2 |
公开号: | CN101236886 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 黄小临;王志森 |
分类号: | H01L21/00(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾新竹科学工业园区 |
所属类别: | 发明专利 |