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原文传递衬底支承和转移设备和方法及利用其制造显示设备的方法

专利名称：	衬底支承和转移设备和方法及利用其制造显示设备的方法
摘要：	一种衬底支承和转移设备及方法、制造显示设备的方法，所述设备包括：穿梭件，其被构造为在x方向和y方向上运动，y方向垂直于x方向；穿梭件上的下楔形块，下楔形块包括与穿梭件的上表面平行的下表面以及相对于下楔形块的下表面倾斜的上表面；下楔形块上的上楔形块，上楔形块包括与下楔形块的上表面平行的下表面和与穿梭件的上表面平行的上表面；以及上楔形块上的卡盘，卡盘被构造为支承衬底。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	三星电子株式会社
发明人：	洪尚俊;朴相玄
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-14T00:00:00+0800
申请号：	CN201811230150.6
公开号：	CN109748105A
代理机构：	北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人：	赵南;张青
分类号：	B65G49/06(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	韩国京畿道
主权项：	1.一种衬底支承和转移设备，包括：穿梭件，其被构造为在x方向和y方向上移动，所述y方向垂直于所述x方向；所述穿梭件上的下楔形块，所述下楔形块包括与所述穿梭件的上表面平行的下表面以及相对于所述下楔形块的下表面倾斜的上表面；所述下楔形块上的上楔形块，所述上楔形块包括与所述下楔形块的上表面平行的下表面和与所述穿梭件的上表面平行的上表面；以及所述上楔形块上的卡盘，所述卡盘被构造为支承衬底。 2.根据权利要求1所述的衬底支承和转移设备，还包括上气压控制器，其被构造为在所述下楔形块与所述上楔形块之间提供空气以及从所述下楔形块与所述上楔形块之间去除空气。 3.根据权利要求2所述的衬底支承和转移设备，其中：所述上气压控制器位于所述上楔形块的下表面上，并且所述上气压控制器包括多个第二孔，所述多个第二孔将空气提供至所述下楔形块的上表面上和从所述下楔形块的上表面去除空气。 4.根据权利要求3所述的衬底支承和转移设备，还包括下气压控制器，其被构造为在所述下楔形块与所述穿梭件之间提供空气以及从所述下楔形块与所述穿梭件之间去除空气，其中：所述下气压控制器位于所述下楔形块的下表面上，并且所述下气压控制器包括多个第一孔，所述多个第一孔将空气提供至所述穿梭件的上表面上和从所述穿梭件的上表面去除空气。 5.根据权利要求2所述的衬底支承和转移设备，还包括下气压控制器，其被构造为在所述下楔形块与所述穿梭件之间提供空气以及从所述下楔形块与所述穿梭件之间去除空气。 6.根据权利要求5所述的衬底支承和转移设备，其中：所述上气压控制器和所述下气压控制器包括所述下楔形块中的第一管和连接至所述第一管的多个第一孔和连接至所述第一管的多个第二孔，所述第一孔位于所述下楔形块的下表面上，并且所述第二孔位于所述下楔形块的上表面上。 7.根据权利要求5所述的衬底支承和转移设备，还包括旋转器，其被构造为在所述穿梭件上相对于x-y平面以预定角度旋转所述下楔形块，其中，所述x-y平面由所述x方向和所述y方向形成。 8.根据权利要求2所述的衬底支承和转移设备，还包括：移动件，其被构造为在所述x方向上移动所述上楔形块，以改变所述上楔形块在z方向上的位置，所述z方向垂直于所述x方向和所述y方向；以及导向件，其被构造为在所述x方向上引导所述上楔形块，以防止所述上楔形块在所述y方向上移动。 9.根据权利要求1所述的衬底支承和转移设备，还包括：升降臂，其被构造为装载和卸载所述卡盘上的衬底；以及所述穿梭件上的升降驱动器，所述升降驱动器被构造为移动所述升降臂。 10.一种支承和转移衬底的方法，所述方法包括：第一预对准步骤，其中，衬底支承和转移设备的卡盘在x方向、垂直于所述x方向的y方向或者垂直于所述x方向和所述y方向的z方向上移动，或者在由所述x方向和所述y方向形成的x-y平面上旋转，以装载具有第一厚度的第一衬底；第一装载步骤，其中，将所述第一衬底装载在所述衬底支承和转移设备的卡盘上；第一衬底支承和移动步骤，其中，所述衬底支承和转移设备的卡盘在所述x方向、所述y方向和所述z方向上移动，或者在所述x-y平面上旋转，以将所述第一衬底布置在用于处理所述第一衬底的处理位置上；第一衬底卸载步骤，其中，通过将所述第一衬底从所述衬底支承和转移设备的卡盘分离来卸载所述第一衬底；第二预对准步骤，其中，所述衬底支承和转移设备的卡盘在所述x方向、所述y方向或所述z方向上移动，或者在所述x-y平面上旋转，以装载具有第二厚度的第二衬底；第二衬底装载步骤，其中，将所述第二衬底装载在所述衬底支承和转移设备的卡盘上；第二衬底支承和移动步骤，其中，所述衬底支承和转移设备的卡盘在所述x方向、所述y方向和所述z方向上移动，或者在所述x-y平面上旋转，以将所述第二衬底布置在用于处理所述第二衬底的处理位置；以及第二衬底卸载步骤，其中，通过将所述第二衬底从所述衬底支承和转移设备的卡盘分离来卸载所述第二衬底。 11.根据权利要求10所述的方法，其中：所述衬底支承和转移设备包括穿梭件、所述穿梭件上的下楔形块、所述下楔形块上的上楔形块以及所述上楔形块上的所述卡盘，并且所述第一预对准步骤、所述第一衬底支承和移动步骤、所述第二预对准步骤和所述第二衬底支承和移动步骤中的每一个包括：穿梭件移动步骤，其中，所述穿梭件在所述x方向或所述y方向上移动；上楔形块移动步骤，其中，所述上楔形块在所述x方向上移动，以在z方向上移动所述卡盘；以及下楔形块旋转步骤，其中，所述下楔形块在所述x-y平面上在所述穿梭件上旋转。 12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述上楔形块移动步骤包括：空气提供步骤，其中，在所述上楔形块与所述下楔形块之间提供空气；移动步骤，其中，所述上楔形块移动以在所述z方向上移动卡盘；以及真空提供步骤，其中，在所述上楔形块与所述下楔形块之间提供真空，以去除空气并将所述上楔形块和所述下楔形块附着于彼此。 13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述下楔形块移动步骤包括：空气提供步骤，其中，在所述下楔形块与所述穿梭件之间提供空气；移动步骤，其中，所述下楔形块旋转以改变所述卡盘在所述x-y平面上的角度；以及真空提供步骤，其中，在所述下楔形块与所述穿梭件之间提供真空，以去除空气并将所述下楔形块和所述穿梭件附着于彼此。 14.根据权利要求11所述的方法，其中，同时执行所述上楔形块移动步骤和所述下楔形块移动步骤。 15.根据权利要求10所述的方法，其中，所述衬底支承和转移设备包括：穿梭件，其被构造为在x方向和y方向上移动，所述y方向垂直于所述x方向；所述穿梭件上的下楔形块，所述下楔形块包括与所述穿梭件的上表面平行的下表面和相对于所述下楔形块的下表面倾斜的上表面；所述下楔形块上的上楔形块，所述上楔形块包括与所述下楔形块的上表面平行的下表面和与所述穿梭件的上表面平行的上表面；以及所述上楔形块上的所述卡盘。 16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述衬底支承和转移设备还包括气压控制器，其在所述下楔形块与所述上楔形块之间或者在所述下楔形块与所述穿梭件之间提供空气，以及从所述下楔形块与所述上楔形块之间或者所述下楔形块与所述穿梭件之间去除空气。 17.根据权利要求16所述的方法，其中：在所述上楔形块移动步骤中，在所述上楔形块与所述下楔形块之间提供空气以使所述上楔形块浮动，并且浮动的上楔形块沿着所述下楔形块的倾斜的上表面移动以在所述z方向上移动所述卡盘，并且在所述上楔形块与所述下楔形块之间去除空气，以将所述上楔形块固定至所述下楔形块。 18.根据权利要求17所述的方法，其中：所述衬底支承和转移设备还包括旋转器，其被构造为在所述穿梭件上相对于所述x-y平面以预定角度旋转所述下楔形块，并且在所述下楔形块旋转步骤中，在所述下楔形块与所述穿梭件之间提供空气以使所述下楔形块浮动，并且浮动的下楔形块在所述x-y平面上在所述穿梭件上旋转，并且去除在所述下楔形块与所述穿梭件之间的空气，以将所述下楔形块固定至所述穿梭件。 19.一种制造显示设备的方法，所述方法包括：衬底提供步骤，其中，提供用于制造所述显示设备的衬底，并且在所述衬底上形成光致抗蚀剂层；衬底支承和转移步骤，其中，通过衬底支承和转移设备将其上形成有所述光致抗蚀剂层的所述衬底转移至曝光位置；以及显示设备完成步骤，其中，在其上形成有所述光致抗蚀剂层的所述衬底上执行后续处理，以制造所述显示设备，并且其中，所述衬底支承和转移设备包括：穿梭件，其被构造为在x方向和y方向上移动，所述y方向垂直于所述x方向；所述穿梭件上的下楔形块，所述下楔形块包括与所述穿梭件的上表面平行的下表面和相对于所述下楔形块的下表面倾斜的上表面；所述下楔形块上的上楔形块，所述上楔形块包括与所述下楔形块的上表面平行的下表面和与所述穿梭件的上表面平行的上表面；以及所述上楔形块上的卡盘，所述卡盘被构造为支承所述衬底。 20.根据权利要求19所述的方法，其中，所述衬底支承和转移步骤包括：穿梭件移动步骤，其中，所述穿梭件在所述x方向或所述y方向上移动；上楔形块移动步骤，其中，所述上楔形块在所述x方向上移动以在z方向上移动所述卡盘，所述z方向垂直于所述x方向和所述y方向；以及下楔形块旋转步骤，其中，所述下楔形块在x-y平面上在所述穿梭件上旋转，所述x-y平面由所述x方向和所述y方向形成。
所属类别：	发明专利