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原文传递一种金刚石本征缺陷扩散表征方法

专利名称：	一种金刚石本征缺陷扩散表征方法
摘要：	一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，属于金刚石本征缺陷分析方法技术领域，解决金刚石本征缺陷扩散过程中受影响较大的技术问题，包括以下步骤：S1、对金刚石样品进行预处理；S2、对金刚石样品进行电子辐照，人为制造金刚石本征缺陷，并采用光致发光光谱选择其中一种本征缺陷类型作为研究对象；S3、在步骤S2辐照后的金刚石样品表面外延生长一层Ⅱa型金刚石；S4、对步骤S3外延生长后的双层金刚石样品进行退火，步骤S2中选择的本征缺陷在双层金刚石中发生扩散；S5、利用拉曼光谱仪对步骤S4退火处理后的金刚石样品的辐照区域进行光致发光深度面扫描，观察金刚石本征缺陷在双层金刚石中的扩散情况，本发明可以清晰观察到本征缺陷扩散时钉扎效应的作用。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山西;14
申请人：	太原科技大学
发明人：	王凯悦;柴跃生;张文晋;张宇飞;王宏兴;田玉明;武雅乔;力国民;周毅;郝建英
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-28T00:00:00+0800
申请号：	CN201910062988.7
公开号：	CN109813700A
代理机构：	太原市科瑞达专利代理有限公司
代理人：	赵禛
分类号：	G01N21/65(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	030024 山西省太原市万柏林区瓦流路66号
主权项：	1.一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，其特征在于包括以下步骤： S1、对金刚石样品进行预处理，所述预处理包括酸洗、切割、抛光和超声波清洗，制得表面清洁的金刚石样品留待后步使用； S2、对步骤S1预处理后的金刚石样品进行电子辐照，辐照电压为200KeV，辐照剂量为1017~1018e·cm2，人为制造金刚石本征缺陷，并采用光致发光光谱选择其中一种本征缺陷类型作为研究对象； S3、在步骤S2辐照后的金刚石样品表面外延生长一层Ⅱa型金刚石； S4、对步骤S3外延生长后的双层金刚石样品进行退火，退火温度为300~800℃，保温时间为30~45min，步骤S2中研究对象在双层金刚石中发生扩散； S5、利用拉曼光谱仪对步骤S4退火处理后的金刚石样品的辐照区域进行光致发光深度面扫描，观察金刚石本征缺陷在双层金刚石中的扩散情况。 2.根据权利要求1所述的一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，其特征在于：在所述步骤S1中，所述金刚石样品为Ⅰa型金刚石，或者为Ⅰb型金刚石，或者为Ⅱb型金刚石，或者为掺杂金刚石。 3.根据权利要求1所述的一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，其特征在于：在所述步骤S1中，超声清洗的工作频率为40KHz，超声波清洗时间为20~30min。 4.根据权利要求1所述的一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，其特征在于：在所述步骤S2中，采用透射电镜对金刚石进行近阀能电子辐照，在金刚石中形成间隙原子缺陷或者空位缺陷。 5.根据权利要求1所述的一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，其特征在于：在所述步骤S3中，采用微波等离子化学气相沉积法或者化学气相沉积法在金刚石样品表面外延生长一层Ⅱa型金刚石。 6.根据权利要求1或5所述的一种金刚石本征缺陷扩散表征方法，其特征在于：在所述步骤S3中，外延生长的Ⅱa型金刚石层的厚度为0.2-0.25mm。
所属类别：	发明专利