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原文传递一种氧化锌纳米线气体传感器及其制备方法

专利名称：	一种氧化锌纳米线气体传感器及其制备方法
摘要：	本发明属于气体检测技术领域，具体涉及一种氧化锌纳米线气体传感器及其制备方法，该气体传感器的制备方法主要步骤涉及氧化锌纳米线的制备、纳米线的转移和薄膜金电极的制备。该气体传感器的结构中，氧化锌纳米线作为气敏材料，薄膜金电极与氧化锌纳米线构成金属‑半导体的肖特基结。该气体传感器利用一维纳米线形貌结构有利于气体分子吸附、肖特基结型器件有利于获得较大响应电信号的优点，可以实现高灵敏度和高响应速度的气体检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏理工学院
发明人：	周文鳞;王青
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-28T00:00:00+0800
申请号：	CN201910151023.5
公开号：	CN109813760A
代理机构：	常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	高姗
分类号：	G01N27/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	213001 江苏省常州市中吴大道1801号
主权项：	1.一种氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：其包括衬底(1)，衬底(1)上附着有多根氧化锌纳米线(2)，氧化锌纳米线(2)的两端各搭接有一薄膜Au电极(3)，所述薄膜Au电极(3)的端部引出处设有引线盘(4)，引线盘(4)上设有引出线(5)。 2.根据权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：衬底(1)的材质选自玻璃、陶瓷、硅片和柔性聚合物材料中的一种。 3.根据权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：氧化锌纳米线(2)的直径为20-300nm，长度为1-22μm。 4.根据权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：薄膜Au电极(3)的厚度为5-30nm，两个薄膜Au电极(3)的间距为0.5-20μm。 5.一种如权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤： (Ⅰ)在一生长衬底上制备氧化锌纳米线(2)； (Ⅱ)将所述生长衬底上的氧化锌纳米线(2)转移至衬底(1)上； (Ⅲ)在衬底(1)上制备薄膜Au电极(3)，使薄膜Au电极(3)与氧化锌纳米线(2)的端部搭接； (Ⅳ)在薄膜Au电极(3)的端部引出处镀上引线盘(4)，并在引线盘(4)上制作引出线(5)，得到氧化锌纳米线气体传感器。 6.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅰ)中所述生长衬底的材质含有硼、铝、镓、铟、氮、磷、砷元素中的一种或多种。 7.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅰ)中制备氧化锌纳米线(2)的方法为，将氧化锌与碳粉末均匀混合后，置于管式炉加热区，然后将生长衬底置于管内，对炉管抽真空，在通入氩气和氧气氛围下于1050℃进行气相法生长15分钟，在生长衬底上获得了氧化锌纳米线(2)。 8.根据权利要求7所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅱ)中转移氧化锌纳米线(2)的方法为干法刮涂或溶液分散转移。 9.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅲ)中采用真空蒸镀或靶材溅射的方法制备薄膜Au电极(3)。 10.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅳ)中制备完引出线(5)后，在氮气氛围中进行200℃、10min的退火处理，得到所述传感器。
所属类别：	发明专利