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一种半导体纳米线音叉式气体浓度传感器及其制备方法
| 专利名称： | 一种半导体纳米线音叉式气体浓度传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 一种半导体纳米线音叉式气体浓度传感器及其制备方法，属于气体浓度检 测技术领域，其特征在于，所述气体浓度传感器是由一个去帽后的石英音叉以 及粘在所述石英音叉的两个叉头上的单根刚直的SnO |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 清华大学 |
| 发明人： | 冯红彬;李景虹;黄 瑾 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-13T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910083771.0 |
| 公开号： | CN101561381 |
| 代理机构： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 朱 琨 |
| 分类号： | G01N5/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100084北京市100084-82信箱 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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