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原文传递印刷电路基板的检查装置

专利名称：	印刷电路基板的检查装置
摘要：	一种印刷电路基板的检查装置，设有转动轴互相垂直的２个检流镜及扫描透镜作为扫描装置，能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的Ｘ轴方向及Ｙ轴方向指令的任意坐标位置处，用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光，依据检测器的输出信号判断各坐标位置检查结果是否良好。
专利类型：	发明专利
申请人：	三菱电机株式会社
发明人：	西田聪;水野正纪;黑泽满树;竹野祥瑞;森安雅治
专利状态：	有效
申请日期：	1998-08-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN98814134.5
公开号：	CN1299465
代理机构：	上海专利商标事务所
代理人：	孙敬国
分类号：	G01N21/88
申请人地址：	日本东京
主权项：	1．一种印刷电路基板的检查装置，其特征在于，具有：激光振荡器；将前述激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向所指令的任意座标位置的扫描装置；及对激光照射的印刷电路基板所产生的光进行检测的检测器。
所属类别：	发明专利