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原文传递天车装置及物料搬送装置

专利名称：	天车装置及物料搬送装置
摘要：	本公开提供一种天车装置及物料搬送装置。该天车装置包括行驶组件、抓取组件、升降机构、第一检测装置以及控制装置。该行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动。该抓取组件用于抓取或松开晶圆盒。该升降机构连接于行驶组件与抓取组件之间，用于驱动抓取组件在竖直方向上移动。该第一检测装置在水平方向上位于抓取组件的一侧，并与抓取组件连接，用于检测第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物，且在第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时，发出第一信号。该控制装置用于在接收到第一信号时，控制抓取组件保持松开状态。本公开能够避免由于晶圆盒的盖体未关闭所引发的安全事故。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	长鑫存储技术有限公司
发明人：	卓飞
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201821846176.9
公开号：	CN209065300U
代理机构：	北京律智知识产权代理有限公司
代理人：	袁礼君;阚梓瑄
分类号：	B66C15/06(2006.01);B;B66;B66C;B66C15
申请人地址：	230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
主权项：	1.一种天车装置，其特征在于，包括：行驶组件，所述行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动；抓取组件，所述抓取组件用于抓取或松开晶圆盒；升降机构，所述升降机构连接于所述行驶组件与所述抓取组件之间，用于驱动所述抓取组件在竖直方向上移动；第一检测装置，所述第一检测装置在水平方向上位于所述抓取组件的一侧，并与所述抓取组件连接，用于检测所述第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物，且在所述第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时，发出第一信号；控制装置，所述控制装置用于在接收到所述第一信号时，控制所述抓取组件保持松开状态。 2.根据权利要求1所述的天车装置，其特征在于，所述天车装置还包括：第二检测装置，所述第二检测装置用于检测所述抓取组件的位置，且在所述抓取组件移动至预设位置时，发出第二信号；其中，所述控制装置用于在接收到所述第二信号且未接收到所述第一信号时，控制所述抓取组件抓取晶圆盒。 3.根据权利要求1所述的天车装置，其特征在于，所述天车装置还包括：警报装置，所述警报装置与所述控制装置连接，所述控制装置用于在接收到所述第一信号时，控制所述警报装置发出警报。 4.根据权利要求3所述的天车装置，其特征在于，所述警报装置为蜂鸣器或警示灯。 5.根据权利要求1所述的天车装置，其特征在于，所述行驶组件具有朝向所述抓取组件开放的容置空间，所述抓取组件以及所述抓取组件抓取的所述晶圆盒能够容置于所述容置空间内。 6.根据权利要求5所述的天车装置，其特征在于，所述行驶组件具有两个朝远离所述行驶组件的方向延伸的延伸部，两个所述延伸部之间的区域构成所述容置空间，其中，所述远离所述行驶组件的方向与所述竖直方向平行。 7.根据权利要求1所述的天车装置，其特征在于，所述第一检测装置为光电传感器。 8.根据权利要求1所述的天车装置，其特征在于，所述第一检测装置固定或可拆卸地连接于所述抓取组件。 9.根据权利要求2所述的天车装置，其特征在于，所述第二检测装置为位置传感器。 10.根据权利要求1所述的天车装置，其特征在于，所述升降机构包括：牵引绳，所述牵引绳的一端连接于所述抓取组件；收放装置，所述收放装置固定于所述行驶组件，并与所述牵引绳的另一端连接，用于收或放所述牵引绳。 11.一种物料搬送装置，其特征在于，包括：轨道，所述轨道悬空设置；权利要求1-10任一项所述的天车装置，所述行驶组件能够沿着所述轨道移动。
所属类别：	实用新型